С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар


-§. Солиштирма царшиликнн металл-яримутказгич



Download 7,33 Mb.
Pdf ko'rish
bet30/151
Sana14.07.2022
Hajmi7,33 Mb.
#799797
1   ...   26   27   28   29   30   31   32   33   ...   151
Bog'liq
1 Zaynobiddinov S , Akramov X Yarimo‘tkazgichlar parametrlarini

1.9-§. Солиштирма царшиликнн металл-яримутказгич 
нуктавий контактининг тешилиш кучланиши 
буйича улчаш усули
Солиштирма каршилиги 
р
тагликникидан катга булган 
эпитаксиал катламларда 
(пп\ рр' —
струкгураларда) с о ­
лиштирма каршилик металл-яримутказгич нуктавий кон­
тактининг (диоднинг) тешилиш кучланиши оркали аник- 
ланиши мумкин. Усулни бир жинсли намуналарга, пп+, 
р'р, р-п
эпитаксиал структураларга хам куллаш мумкин. 
Лекин уни метрологик курсаткичлари бошка усулларга 
нисбатан пастрок булгани учун сунгти туркум намуналар- 
да 
р —
ни улчашга кенг кулланилмади. Курилаётган усул 
билан 
р
— ни аникдашда намуна сиртига учта зонд жой- 
лаштирилади (1,23-расм). Зонд материалининг шакли игун- 
дай танланиши керакки, бунда 1 ва 2-зондлар контактла- 
ри Ом контактига якин булиб, контакт каршилиги кичик 
булсин, 3-зонд эса контакти яримутказгич билан нукга- 
вий диод хосил килсин. 1 ва 3-зондларга кутбланиши ди­
однинг тескари йуналишига мос келадиган пульсацияла- 
нувчан кучланиш берилади, 2 ва 3-зондлардан кучланиш
R
— каршилик ёрдамида диоддан утаётган ток улчанади. 
Диоднинг вольт-ампер характеристика (тавсифи)си кириш 
Каршилиги катга булган ос.циллографда курилади ва те-


1.23-расм.
Металл-яримутказгичли структураларда нуктавий 
контактнинг тешилиш кучланиши буйича солиштирма каршиликни 
Улчаш схемаси 
(а),
ВА Х ни тескари кучланиш сохас.и (б).
шилиш кучланиши сохасидаги бурилиш нукгаси к,айд рли- 
пади 
(Umu).
3-зондни куллаш билан 1 зонд контакт к,ар- 
шилигининг таъсири йукотилади.
Амалий тадкикотлар нуктавий диоднинг тешилиш куч- 
ланиши куп омилларга, масалан, тешилиш кучланиши- 
иинг утказувчанлик типига, зондга куйилган кучланишга 
(босим кучига), контакт юзасига, сирт ишловига боЕяик- 
лигини курсатади. Бу бокланишларни мукаммал ёритган 
нуктавий диод назарияси ва тешилиш кучланишини со­
лиштирма каршилик билан 
боЕпаган 
аналитик ифодаси 
йук Демак, курилаётган усул билан 
р
ни тугридан-тугри 
улчов утказиш оркали аникдаб булмайди. Шу сабабли 
р 
ни аникдашда солиштирма каршиликлари маълум булган 
(эталон) намуналар ёрдамида 
UTeui=f(r)
бонтанишни да- 
ражалаш графиги олиниб, ундан фойдаланиш такозо эти- 
лади. Яримутказгичлар солиштирма каршилиги 0,1 дан
10 Ом. см гача булган ораликда нуктавий диодларда те­
шилиш кучланишининг 
р
га боищкдик (даражалаш) гра­
фиги
U =А рь
(1.117)
теш 
'

'
68


куринишидз ифодаланади. Бу ерда: 
А, b
— яримутказгич, 
зонд материалларига ва бир кднча юкорида келтирилган 
омилларга борлик. козффициентлар. Солиштирма карши­
лиги 0,08<р<4 Ом. см булган «-тип кремний намуналар 
билан вольфрам зонди хосил килган нуктавий диодда 
тешилиш кучланиши куйидаги куринишда хисобланади:
ипш= 9 2 р ^
(1.118)
By богланиш 1 ва 2 зондларга диаметри 250 мкм, 3 зондга 
эса диаметри 60 мкм булган вольфрам куллаш билан олин­
ган. Усулни кремний эпитаксиал структураларига куллаш 
буйича утказилган текширишларга кура эпитаксиал кат- 
ламларда ишончли натижалар олиш учун катламнинг со ­
лиштирма каршилиги 0,1<р<1 Ом. см ораликда булиш- 
лиги, калинлиги 5 мкм дан кам булмаслиги максадга му- 
кофидир. 
р
нинг куйи чегараси В А Хни тешилиш 
сохасидаги куринишининг ёмонлашиши, яъни тешилиш 
сохасида бурилишнинг аник намоён булмаслиги билан, 
юкори чегараси катта тескари кучланишда тагликка то­
мон силжиб, катлам оркали тешилиши билан тушунти- 
рилади. 
п-п+
эпитаксиал структураларда л-катламнинг с о ­
лиштирма каршилигини аниклашда даражалаш графиги
С/еш=68,39 +р°-536+ 21,23р0’877 
(1.1 19)
куринишда ифодаланган муносабатдан фойдаланиш тав- 
сия этил ад и. Зонд материалларининг 
га таъси-
рини урганишда пулат, вольфрам, осмий кулланилган. 
н-гип кремнийда зонд материалларининг таъсири катта 
эмаслиги аникланган. Зонддаги босим кучининг теши­
лиш кучланишининг кийматига таъсири кучлирокдир. 
Ьосим кучини 10 г дан 100 г гача узгариш эталон моно­
кристалл намуналарда 10%, эпитаксиал катламларда 20% 
камайишга олиб келган. Кремний намуналаридаги кони­
ка рл и натижалар зондга 50 г куч куйилганда учининг ди­
аметри 250 мкм булган осмий зонд куллаш билан олин­
ган. Эпитаксиал катламларда огиш бурчаги Г булган кия 
гскислик хосил килиб, солиштирма каршиликнинг калин- 
лик буйича таксимотини урганиш мумкин. Икки хафта-
69


гача сакданган намуналарда узгармас ток билан ВАХ ни 
улчаш кулланилганда натижаларнинг такрорланиши 5%, 
киска муддатда сакданган намуналарда 1% га етади. 

Download 7,33 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   26   27   28   29   30   31   32   33   ...   151




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish