References k. Graff, Metal Impurities in Silicon-device Fabrication, 2nd ed. Springer, Berlin, 2001



Download 32,63 Kb.
bet1/12
Sana28.08.2021
Hajmi32,63 Kb.
#157969
  1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   12
Bog'liq
REFERENCES


REFERENCES

  1. K. Graff, Metal Impurities in Silicon-device Fabrication, 2nd ed. (Springer, Berlin, 2001).

  2. Ammon, W.: Defects in Monocrystalline silicon. In: Kasap, S., Capper, P. (eds.) Springer Handbook of Electronic and Photonic Materials, Springer, New York (2007), pp. 101–120.

  3. Y. Yoshida, G. Langouche (eds.), Defects and Impurities in Silicon Materials, Lecture Notes in Physics 916, DOI 10.1007/978-4-431-55800-2_1, Springer, 2015, p. 18.

  4. Куликов Г.С., Юсупова Ш.А. Влияние марганца на диффузионное распределение никеля в кремнии. //ФТП, 1995,т.29,в.3,с.469-473.

  5. G.W. Ludwig, H.H. Woodbury: Solid State Phys. 13, 223(1962)

  6. H.H. Woodbury, G.W. Ludwig: Phys. Rev. 117, 102(1960)

  7. E. Weber, H.G. Riotte: Appl. Phys. Lett. 33, 433(1978)

  8. Kvande et al., J. Appl. Phys. 104, 064905, 2008

  9. T. Isobe, H. Nakashima and K. Hashimito. Japanese Journal of Applied Physics, Vol.28, No.7, July, 1989, pp.1282-1283.

  10. W. Wijaranakula and S. S. Kim. Precipitation of 3d transitionmetal silicides in Czochralski silicon crystals. Journal of Applied Physics 76, 6017 (1994); doi: 10.1063/1.358355

  11. J. Schmidt et.al. Journal of Applied Physics 102, 123701 (2007); doi: 10.1063/1.2822452

  12. К.П.Абдурахманов, Г.С. Куликов, А.А. Лебедев, Ш.Б. Утамурадова, Ш.А. Юсупова. Исследование поведения примесей марганца и никеля при диффузионном легировании кремния, //ФТП, 1991, т.25, в.6, с. 1075-1078.

  13. Загребин Л.Д., Бузилов СВ. Измерение температуропроводности и тепло-проводности металлов вблизи точки плавления. //ПТЭ.- 2003. - № 1 - С153-157

  14. А.С. Асташенков, Д.И. Бринкевич, В.В. Петров. Свойства кремния, легированного примесью никеля методом диффузии. Доклады БГУИР, 8(38), 2008, с. 37-43

  15. М.В. Гомоюнова, И.И. Пронин. Взаимодействие атомов кобальта с окисленной поверхностью Si(100)2×1. Физика твердого тела, 2005, том 47, вып. 10. С.1901-1906

  16. Н.И. Медведева, Э.И. Юрьева, А.Л. Ивановский. Электронная структура кубического карбида кремния с 3d-примесями в Si- и C-позициях замещения. Физика и техника полупроводников, 2003, том 37, вып. 11. С.1281-1284

  17. Ch. Sun, A.Liu, Fiacre E. Rougieux,  D. Macdonald. Lifetime Spectroscopy and Hydrogenation of Chromium in n- and p-type Cz Silicon. Energy Procedia, Volume 77, August 2015, Pages 646-650

  18. H. Nakashima, Taizoh Sadoh, H. Kitagawa, K. Hashimoto. Diffusion and electrical properties of 3d transition-metal impurity series in silicon.
    Materials Science Forum, 1993 (Volumes 143-147). Pp. 761-766.

  19. Download 32,63 Kb.

    Do'stlaringiz bilan baham:
  1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   12




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish