W
билан
С(и) = — А
богланишда булишлигини назарда тутсак,
W
£ £ А
(4.198) ифодани - ~ у билан тугри чизикди богланишда
булишлигини курамиз. Бу ерда
А-р-п
утиш ёки Шоттки
тусигининг ю заси
е —
яримутказгичнинг диэлектрик синг
дирувчанлиги С(и) хар хил кучланишдаги тусик chfhmh.
Шундай кдлиб,
р-п
утиш ва шоттки тусикдарининг
киска туташув фототоки оркали диффузион узунликни
аникдашнинг иккинчи усулида уларга куйилган хар хил
кучланишларда бир вак,тда бир хил интенсивликдаги ёрур-
лик билан ёритишдан хосил булган к,иск,а туташув ф от о
токининг суниш chfhmh улчанади ва улчанган
j
нинг
---
л
га богланиши чизилади. (4.20 в-расм). Бу богла-
нишнинг тугри чизикди сохасини абсцисса уки билан ке-
сишгунча давом эттириб, у кесма узунлигидан диффузи-
г
£
Е0^
он узунлик топилади At
= ^
. Бундай улчашни утка-
зишда ёругликнинг
aw<
1 тенгсизлик уринли булган
спектрал сохаси танланади. Бундан тапщари, заряд та-
253
шувчилар яшаш вакти хджмий заряд сохасининг дрейф
вактидан катта булиши кераклиги курсатилган.
GaP
учун
/др-10~12С. Сигам С(и) намуна ёритилган х,олатда 1 МГ
частотада улчанган. Юкорида изо\ланганлардан курина
дики, бу усул эпитаксиал кдгламларда номувозанат асо
сий булмаган заряд ташувчиларнинг кичик диффузион
узунлигини улчаш мумкин. Хамда х,ар хил шароитда х,ар
хил калинликда утказилган тажриба натижалари диффу
зия коэффициентини, сирт рекомбинацияси тезлигини,
заряд ташувчилар яшаш вакгини аникдашга имкон бе-
ради.
5 - Б О Б
ЧУК,УР САПЦ1И МАРКАЗЛАР ПАРАМЕТРЛАРИНИ
У Л Ч А Ш УСУЛЛАРИ
5Л-§. Чукур сатхни марказларнинг параметрлари
Яримутказгич магериалларининг так^цланган зонала-
рида чукур энергия сапутрини х,осил кдладиган крис
талл панжара нук,сонлари чукур сат^уш марказ (тущич-
лар) деб юритилади. Бу нуксонларга киришма атомлари-
ни, радиацион нудоонларни, термик ишлов жараёнларида
пайдо булган термик нуксонларни курсатиш мумкин. Чу
кур сат\ли марказлар рекомбинация марказлари ёки тут-
к,ич марказлари каби буладилар. Биринчи долда чукур
сат\лар заряд ташувчиларнинг яшаш вак,тини, диффузи
он узунлигини камайишига олиб келади ва яримутказгич
асбобларининг характеристикаларига кучли таъсир курса-
тади. Чукур сатх, (ЧС) лар рекомбинацион марказлар си-
фатида лазер ва ёруглик (свето) диодларининг нурланиш
интенсивлигини камайтиради. Чукур сатхни марказлар
тугк,ич марказлари сифатида заряд тупланишига таъсир
жилищи мумкин. Назорат остида киритилган чукур сатх,-
ли марказ (ЧСМ)лар бир к,анча долларда яримутказгич-
ларда керакли хусусиятлар досил кдлиши мумкин. Маса
лан, арсенидгаллий (
GaAs)
га киритилган хром киришма
атоми юдори Ом ли (каршилиги катта булган) намуналар
олишга имкон беради. Кремнийни тилла (
Аи
), платина
(
Pt
) киришма атомлари билан легирлаб, заряд ташувчи
лар яшаш вакгини бир неча тартибга камайтиришга эри-
шилди ва у намуналар асосида саноатда тезкор импульс -
ли диод ва тристорлар ишлаб чик,ариш йулга куйилди.
Демак, яримугказгичларда ЧСМлар макбул ва номак,бул
додисаларни содир килар экан. Шунинг учун чукур сат\-
лар хоссаларини урганиш, технологик жараёнларда пай
до булишлигини назорат к,илиш, улар табиатини аник,-
лаш яримутказгичлар физикасида мух,им урин тутади.
255
Заряд
ташувчилар булмиш электронни, ковакни ЧСларга
гут и б олгунча, гутгандан сунг к,андай зарядланган \ола-
тида булишига караб, саёз сатхдар каби, чукур марказ
донор ёки акцептор характерига эга булиши мумкин. Чу
кур сатхдар хоссалари такикданган зонадаги х;олати
Do'stlaringiz bilan baham: |