С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

S « D p a x
булганда, 
tg
a, a l- a id{
булади ва сирт рекомбинацияси тезлиги
дан хисобланади. Топилган 
S
буйича диффузион узунлик
буйича хисобланади. 
Dp
ва 
Ьр
ларни билган холда заряд 
ташувчиларнинг яшаш ва^ти
билан, бикутбий диффузион харакатчанлик Эйнштейн 
муносабатидан
(4.187)
(4.188)
(4.189)
245

---

топилади. Агар сирт рекомбинациясини эътиборга олмас- 
лик мумкин булса, масаланинг ечими соддалашади. 
Х,акикатда 
S
= 0 да чегаравий шартлар (4.175) дан фойда- 
ланишга дожат долмайди ва масала бир улчамли булади. 
Трансдент тенглама ечими 
а х=
0 булади. У вакдда диф­
фузион узунлик
А =(/,/2)^ 
(4.191)
билан, диффузия коэффициенти (4 184) билан, заряд та­
шувчиларнинг яшаш вакти г = 
формулалар билан 
дособланади. Ёруглик нурининг х,аракатланувчи усули 
билан номувозанат заряд ташувчилар параметрларини 
улчаш курилмасининг чизмаси 4.19 а, б-расмда келти- 
рилган. Монохроматик ёруглик окими 
Sl
ва 
S\
кузгулар, 
тиркишли диафрагма Д ёрдамида намуна сиртига йунал- 
тирилади. Ёруглик окимининг кенглиги 10'2 дан то 1 мм 
гача узгаради. Ёруглик нурининг намуна сирти буйлаб 
х,аракати айланувчи кузгудан ёругликнинг кайтиши оркали 
пайдо килинади. Коллектор токига пропорционал булган 
кучланиш юклама каршилик 
Rfl
дан кучайтиргич 
У
га ва 
осциллографга берилади. Осциллограмма улчаш зонди- 
ни контактланиш нуктасидаги заряд ташувчиларнинг вакт 
буйича (4.182) ва (4.183) ифодалар билан аникданадиган 
таксимотини курсатади. Осциллофаммадан In 
V =f(t)
бог-
4.19-расм.
Коллектор фото Э Ю К нинг чизик^и (а) яримлогарифмик 
{б, в)
масштаблардаги осциллограммаси.

---

ланиш чизилади ва унинг тугри чизикди богланиш со^а- 
v 
v
сидан 
j
ва 
лар, еруглик нуридан унгда
A In 
U к
д In 
Ар _ V 
At 
Al
/,
ва ёруглик нуридан чапда
A[nVk
_
V 
At 
~ 12
экспонентанинг вакг доимийлари топилади. Намуна сирти 
буйлаб харакатланувчи ёруглик зондининг тезлиги 
V
ни 
аникдаш учун биринчи коллектор зондидан кандайдир 
масофа, иккинчи коллектор зонд урнатилади. Икки зонд 
орасидаги масофани ёруглик зонди босиб утган вакдта 
нисбати 
V
ни беради. Бу усул олдин германий, кейинча- 
лик кремний, индий, сурьма (
InSb
) ва бошкд яримутказ­
гич намуналарининг параметрларини улчашда кулланил- 
ган. Улчаш давомида индий, сурьма ва германий наму- 
наларида ёпишиш марказларининг таъсири кучлирок, 
намоён булган. Бу марказлар томонидан эркин заряд та­
шувчиларнинг тутилиши осциллограмманинг горизонтал 
ук, билан бироз чузилишига ва нщоят экспонента вакт 
доимийсининг ошишига олиб келган. Шунинг учун о с ­
циллограмманинг бу со\асига температура узгаришининг 
ва кучсиз ёритишнинг таъсири курсатилган. Юкорида му- 
докама килинган ёруглик зондининг кузгалувчан, \apa- 
катланувчи усулларвдаги ёруглик зондининг урнига элек­
трон зондини куллаш оркали диффузион узунлиги кичик 
булган А3В5 ва А^В6 яримтутказгич бирикмаларини тек- 
шириш ва уларда диффузион узунликни улчаш имкони 
ту галди.
Диффузион узунликни электрон зонди усули билан 
улчашда, одатда намунанинг электрон зондига тик ёки 
параллел сиртларида планер технология билан кичик юза- 
ли