С. Зайнобидинов, X. Акромов яримутказгичлар

± ( г « р )
_
+ 
=
о (4. 165)
г dr \
 
dr ) 
гpDp 
hvD p
куринишда булади. Бу ерда 
г
ёруглик зонди (чизиги)дан 
коллектор конгакгигача булган (масофа) цилиндр радиу- 
си (4.165) тенгламанинг ечими нолинчи тартибдаги мав- 
хум аргументли Ханкел функцияси билан ифодаланади.
Ap(r)=Ap(0)iH^(ir/Z)
235
(4.166)

---

Масалани умумий холда, яъни ёруглик зонди маълум бир 
чекли улчамларга эга (узунлиги /, эни Ж) булган \ол деб 
к,аралганда, хисоблашларнинг курсатишича, координата
г нинг 5
w < г <
~ оралигида умумий ечимининг апрокси-
мацияси хам (4.166) билан ифодаланади. 
r/L
ни катта 
кийматларида Ханкел функцияси уша аргументнинг экс­
поненциал функциясига утади. Координата боши ёруг­
лик зонди билан кузгалгани учун намуна сиртида 
г = х 
деб караб, калин 
d » L
яримчексиз намуна учун х ни
5н>< г < 4 ораликдаги кийматлари учун (4.166) формула
Д
р(х) _
ехр
(x/L)
Лр(0) 
■fCx/L)
(4.167)
(4.167) куринишни олади. Юпк,а намуна 
d
» Z учун эса 
номувозанат заряд ташувчилар концентрациясининг так,- 
симоти
Д
р(х) =
Ар(0)ехр|- 
~
4.16-расм.
Асосий булмаган заряд ташувчилар диффузион узунлигини 
улчаш курилмаси схемаси: (Вальдес усули): 
D —
диафрагма;
К
— металл зонд — коллектор контакти; 
RH
— юклама каршилик;
У
— кучайтиргич; 
V
— вольтметр.
236

---

булади. 
X
нинг хар хил к,иймагларини олиш учун ёруглик 
зонди коллектор контактига нисбатан кузгатилади (сил- 
житилади) ва улчаш вактида ёруглик зонди тинч холатда 
туради. Диффузион узунлик 
L
ни улчаш курилмаларидан 
бирининг чизмаси 4.16-расмда келтирилган. Ёруглик ман- 
баидан ёруглик ок,ими фокусловчи оптик система 
ОС, 
фильтр Ф , модулятор М, тиркишли диафрагма Д оркали 
намунага тушади. Тиркишли диафрагма Д ёрдамида ёруг­
лик зондининг кенглигини 50 -г- 500 мкм ораликда узгар- 
тириш мумкин. Интенсивлиги буйича модуляцияланган 
ёруглик чети сектор шаклида киркилган ёки дойра шакли- 
да тешикли дискни айлантириш билан хосил килинади. 
Модуляцияланган ёругликни куллаш катта коллектор то- 
кидан номувозанат заряд ташувчилар диффузияси туфай­
ли, юзага келган кичик кием фототокни кайд килиш им- 
конини беради. Ёругликнинг импульели модуляция- 
сида импульснинг давомийлиги, частотаси хамда 
интенсивлиги синусоида буйича узгарувчи ёругликнинг 
модуляция частотаси номувозанат заряд ташувчилар кон- 
центрациясининг стационарлик шартидан танланади. Им­
пульели модуляцияда импульснинг давомийлиги 
tu
куйи- 
даги тенгсизликни
4Й ’ 
“ 
( D / r f t
Каноатлантириши керак. Ёруглик окимининг модуляция 
частотаси 50-4-300 Гц тартибида булади. Модуляция час­
тотаси 
j
га нисбатан анча кичик булиши керак. Юкори-
да таъкидланганига кура, коллектор контактига тескари 
йуналишдаги кучланиш куйилади ва коллектор занжири- 
га уланган юклама каршилик 
RH
дан кучланишнинг узга­
рувчан ташкил этувчиси оркали фототок улчанади.
RH
дан узгарувчан кучланиш тушуви селектив кучай- 
тиргич оркали кучайтирилади ва синхрон детектор ва 
вольтметр оркали кайд килинади. Синхрон детекторни 
куллаш курилманинг улчаш сезгирлигини оширади. Ярим­
утказгич намуна кристалл гутгичга котирилади ва мани­
пулятор (микрометр) билан ёрутлик зондига нисбатан 
коллектор контактининг холати узгартирилади. Металл
237

---

зонд намунанинг исталган жойига урнатилиши мумкин 
ва у намуна билан бирга силжийди. Курилманинг шов- 
кин даражасини камайтириш учун контактнинг тургун- 
лигини ошириш учун контактга ток импульси билан иш- 
лов бсрилади. Ток импульсининг амплитудаси керакли 
сигнал-шовк,ин нисбатига эришгунча ошириб борилади. 
Улчанаётган сигнал катгалиги шовкин кучланишига як,ин- 
лашгунча ёки (4.166) ифодани куллаш шарти бузилгунча 
давом этади. Бу усул, асосан германий намуналарида диф­
фузион узунликни улчашда кулланилган, чунки герма- 
нийда 
L
анча катта, бундан ташкари, кисиладиган ме­
талл зонд билан потенциал тусикди контактни олиш нис­
батан енгил. Бу усулни кремний намуналарида сирт 
рекомбинация катта, шовк,ин даражаси юкори, коллек­
тор контактида ВАХни ночизигий булиши, сирт як,инида 
инверсион катлам (хосил) вужудга келиши туфайли крем- 
нийда