А. Тешабаев, С. Зайнабидинов, И. Каримов, С. Власов, В. Абдуазимов

Ионлар билан бомбардимон қилиш усули 
 
Бу усул кўп тарқалган ва самаралидир. Яримўтказгич сиртини бир неча 
юз эВ энергиягача тезлантирилган инерт газ ионлари билан бомбардимон 
қилиш сиртдаги оксид қатламини, шунингдек дастлабки модданинг 1–2 атом 
қатламини кетказади. Бироқ, кейинги жараён бир мунча нуқсонлар ҳосил 
қилади. Бу нуқсонларни кетказиш учун 15–30 минут давомида юқори 
температурали куйдириш (1100–1200 К) қўлланилади. Куйдириш вақтида 
ҳам сирт қисман ифлосланиши мумкин. Шунинг учун ионлар билан 
бомбардимонлаш–куйдириш 
технологик 
амаллари 
кўп 
марта 
такрорлангандагина қаноатланарли бўлиши мумкин. 
Бу усул элементар (Ge, Si, ва бошқалар) яримўтказгичлар сиртини тозалашда 
яхши натижалар беради, аммо яримўтказгич бирикмаларнинг тоза сиртини 
ҳосил қилишда ҳамма вақт ҳам ижобий натижа беравермайди. 
Вакуумда ёриш усули 
 
Кристаллни юқори вакуумда ёриш йўли билан тозалаш усулининг 
соддалиги, шунингдек, унинг яримўтказгич бирикмаларга қўлланилишлиги 
туфайли фойдаланиш соҳаси анча кенгдир. ~10
–9
–10
–10
мм.сим.уст. босимли 
вакуумга жойланган кристални керакли кристаллографик йўналиши 
(кремний учун (111)) бўйлаб ёрилади. Магнитик майдон ёки бошқа усул 
билан бошқариладиган махсус ургич маҳкамланган кристалга зарб беради, 
кристал ёрилади. Ёришнинг бошқа бир усули –– сиртда олдиндан 
тайёрланган чуқур изга пона босилади. 
Бу усул қўлланганда қиздириш бўлмайди. Кристал ёрилиши биланоқ унинг 
сирти электрик ҳоссалари бевосита ўлчаниши мумкин. 

---

67 
Совуқ буғланиш усули билан сиртни тозалаш 
Усул қуйидагидан иборат: кучли электрик майдон (~10
8
В/см) мусбат 
зарядланган найзадан сиртдаги киришма атомларини ва кристалл панжараси 
юқориги 
қатламларидаги 
атомларни 
учириб 
юборади. 
Майдон 
текширилаётган модда найзаси ва текис электрод орасида ҳосил қилинади. 
Етарлича паст частотали ўзгарувчан кучланиш бериб сиртни тозалаш 
жараёни ва унинг тозалигини бир вақтда амалга ошириш мумкин: найзага 
мусбат кучланиш берилганда найзадан сиртий атомлар буғланади, яъни 
тозалаш юз беради; найзага манфий кучланиш берилганда автоэлектрон 
эмиссия кузатилади, бу сиртнинг электронограммасини олиш имконини 
беради.