Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani



Download 16,58 Mb.
Pdf ko'rish
bet332/570
Sana16.06.2022
Hajmi16,58 Mb.
#677720
1   ...   328   329   330   331   332   333   334   335   ...   570
Bog'liq
ТГТУ II-межд конф Хайдаров Элтазаров Эргашев Абдукаримов Курбонов Турсунов Гаибназаров Курбонов Алимова

материал 
Температура 
диффузии 
Время 
диффузии 
Тип 
проводимости 
ρ, Ом.см. 

Si(B+S) 
1175-1180 
60 

5·10
3

Si(B+S) 
1180-1185 
55 

1,2·10
4

Si(B+S) 
1190-1195 
50 

5·10
4

Si(B+S) 
1195-1200 
45 

10
5

Si(P+Ni) 
1200-1210 
1.5 

5·10
3

Si(P+Ni) 
1210-1220 
1.5 

1,2·10
4

Si(P+Ni) 
1220-1230 
1.5 

1,5·10
4

Si(P+Ni) 
1240-1250 
1.5 

1,2·10
5


Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
379 
Как показали результаты электрических измерений, образцы с 
толщиной d=350 мкм были однородно легирования по всему объему. А 
электрические параметры полученных образцов измерялись методом 
эффекта Холла результаты в зависимости условия диффузии представлены 
на таблице 1. 
Полученные образцы, подвергались к низкотемпературному отжигу [7] 
в интервале Т=(100÷450)
0
С шагом 5
0
С последовательно в течении t=2 часа в 
воздухе. После каждого этапа термоотжига образцы травилось на HF, чтобы 
удалить SiO

. Затем измерялось на установке эффекта Холла их основные 
электрические параметры. Установлено, что во всех материалах температура 
термоотжига [8], не было обнаружены существенного изменения их 
электрических параметров, которые свидетельствуют о стабильности 
состояния этих примесных атомов в решетке кремния. Это очень важно не 
только при эксплуатации термодатчиков созданных на основе этих 
материалов, но и для создания низкоомных омических контактов 
термодатчиков при Т=(350÷400)
0
С напылением никеля [9]. 
Для создания термодатчиков [10], сильнокомпенсированного образца, 
после напыления никеля с обоих сторон для создания омических контактов 
разрезались на специальной установке по размером 1х1х0,3мм
3
. Затем 
использованием специального сплава применялось химическое осаждение 
никеля контакты при температуре Т=150-200
0
С. Для защиты термодатчиков 
покрывалось компаундом КПТД-1 позволяющим сохранит основные 
параметры термодатчика. 
Таблица 2. 

Download 16,58 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   328   329   330   331   332   333   334   335   ...   570




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish