Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

материал 
Температура 
диффузии 
Время 
диффузии 
Тип 
проводимости 
ρ, Ом.см. 
1 
Si(B+S) 
1175-1180 
60 
p 
5·10
3
2 
Si(B+S) 
1180-1185 
55 
p 
1,2·10
4
3 
Si(B+S) 
1190-1195 
50 
i 
5·10
4
4 
Si(B+S) 
1195-1200 
45 
n 
10
5
5 
Si(P+Ni) 
1200-1210 
1.5 
n 
5·10
3
6 
Si(P+Ni) 
1210-1220 
1.5 
n 
1,2·10
4
7 
Si(P+Ni) 
1220-1230 
1.5 
n 
1,5·10
4
8 
Si(P+Ni) 
1240-1250 
1.5 
i 
1,2·10
5

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
379 
Как показали результаты электрических измерений, образцы с 
толщиной d=350 мкм были однородно легирования по всему объему. А 
электрические параметры полученных образцов измерялись методом 
эффекта Холла результаты в зависимости условия диффузии представлены 
на таблице 1. 
Полученные образцы, подвергались к низкотемпературному отжигу [7] 
в интервале Т=(100÷450)
0
С шагом 5
0
С последовательно в течении t=2 часа в 
воздухе. После каждого этапа термоотжига образцы травилось на HF, чтобы 
удалить SiO
2 
. Затем измерялось на установке эффекта Холла их основные 
электрические параметры. Установлено, что во всех материалах температура 
термоотжига [8], не было обнаружены существенного изменения их 
электрических параметров, которые свидетельствуют о стабильности 
состояния этих примесных атомов в решетке кремния. Это очень важно не 
только при эксплуатации термодатчиков созданных на основе этих 
материалов, но и для создания низкоомных омических контактов 
термодатчиков при Т=(350÷400)
0
С напылением никеля [9]. 
Для создания термодатчиков [10], сильнокомпенсированного образца, 
после напыления никеля с обоих сторон для создания омических контактов 
разрезались на специальной установке по размером 1х1х0,3мм
3
. Затем 
использованием специального сплава применялось химическое осаждение 
никеля контакты при температуре Т=150-200
0
С. Для защиты термодатчиков 
покрывалось компаундом КПТД-1 позволяющим сохранит основные 
параметры термодатчика. 
Таблица 2.