Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
352 
 
1-rasm.
VUP-5 qurilmasi yordamida kremniy tagligiga elektron nurli 
bug‘latish usuli bilan oʻtqazilgan toza temirning yupqa qatlami tasviri. (Qatlam 
qalinligi d 
⁓
20 nm). 
Bu nanostrukturada taglik sifatida p-Si monokristalidan foydalanildi. 
Kremniyli taglik sirtidagi iflosliklar kimoviy yo‘l bilan tozalangan. So‘ngra, yuqori 
vakuumda ya’ni qoldiq gazlar bosimi 
⁓
10
-6
mm.sim.ust ga teng bo‘lgan sharoitda 
toza temir elektron nurli bug‘latish yo‘li bilan taglikka o‘tqazilgan. Bug‘latish 
jarayonida 21,7 mg massali toza temir moddasi bug‘latilgan bo‘lib, anod 
kuchlanishi 2,6 kV, emissiya toki esa 6-7 mA bo‘ldi. Kremniy taglikda hosil 
qilingan nanoqatlamning adgeziyasini yaxshilash uchun nanoqatlamni past 
energiyali Ar
+
ionlar bilan bombardimon qilindi. Buning uchun Ar gazini 
ionlashtirib miltillama razryad hosil qilindi va razryad tufayli hosil boʻlgan argon 
ionlari yordamida hosil boʻlgan nanoqatlam bombardimon qilindi. Bunda 
ionizatordagi kuchlanish 0.7-0.8 kV, ion toki 10-15 mA ga teng bo‘ldi va 
bombardimon qilish davomiyligi 3 daqiqani tashkil etdi. Natijada Fe/SiO
2
/p-Si
gibrid nanostrukturasining adgeziyasi birmuncha yaxshilangan varianti hosil 
qilindi. Bunda kremniy taglikda temir moddasining qalinligi quyidagi formula 
yordamida baholandi: 
(1) 
m- bug‘langan modda massasi, θ- taglik va bug‘langan modda orasidagi 
burchak, r- taglik va bug‘langan modda orasidagi masofa, ρ- bug‘lanayotgan 
modda zichligi 
Bug‘latilgan toza temir moddasining yuqorida keltirilgan aniq massasi, 
taglik va bug‘langan modda orasidagi burchakni 90˚ ga yaqin, taglik va bug‘langan 
modda orasidagi masofa esa 10,5 cm qilib tanlangan. (1) formulaga asosan temir 
qatlamining qalinligi 20 nm atrofida ekanligi kelib chiqadi. 
Atom kuch mikroskopi nanometr aniqlikdagi yupqa qatlamlar sirtining 
morfologiyasini o‘rganishda benazir qurilmadir. Bizning tadqiqotlarimizda 
foydalanildi (2-rasm) [2] CoreAFM rusumli AKMdan 

---