Влияние режимов ионно-плазменного напыления на структуру и свойства износостойких покрытий



Download 8,41 Mb.
Pdf ko'rish
bet40/58
Sana19.05.2022
Hajmi8,41 Mb.
#605039
TuriДиссертация
1   ...   36   37   38   39   40   41   42   43   ...   58
Bog'liq
Dissertatsia Tselykh

1,05 
1,07 
1,14 
1,17 
Рис. 3.14 График зависимости размеров кластерных образований от толщины покры-
тия молибдена 


91 
Таблица 3.5 - Размеры кластерных образований от мощности (100,125,
150 ВТ) напыления с толщиной покрытия 38 и 173 нм 
Мощность напы-
ления, Вт 
Толщина покрытия Мо на резиновой подложке, нм 
38 
173 
Размер кластерных образований, мкм 
100 
1,55 
0,68 
1,54 
1,26 
1,04 
0,84 
0,56 
1,00 
1,22 
1,10 
1,44 
1,16 
1,65 
1,20 
1,31 
1,20 
1,35 
1,01 
1,56 
0,56 
0,96 
1,20 
0,92 
1,11 
0,68 
0,50 
0,83 
0,9 
1,85 
1,36 
1,08 
1,12 
0,92 
среднее значение 
1,05 
1,17 
125 
0,55 
0,41 
0,68 
1,0 
1,42 
0,76 
0,88 
0,44 
0,90 
0,72 
1,40 
0,95 
0,35 
0,80 
1,00 
0,56 
1,50 
0,85 
0,73 
0,52 
1,68 
среднее значение 
0,67 
1,03 
150 
0,68 
0,90 
0,55 
0,75 
0,53 
0,58 
0,76 
0,65 
0,67 
0,78 
0,70 
0,68 
0,87 
0,92 
0,64 
0,83 
1,10 
среднее значение 
0,71 
0,75 
 
Рис. 3.15 График зависимости размеров кластерных образований от мощности ионно-
плазменного напыления, толщина покрытия 38 и 173 нм 
С увеличением мощности излучения ионов с мишени на резиновую под-
ложку происходит обратный эффект, рост кластеров в размере уменьшился. 


92 
Происходит более равномерное распределение ионов на поверхности резины и 
менее значительный рост кластеров, точнее происходит рост количества более 
мелких кластеров. Этот эффект наблюдался как при толщине покрытия 38 нм, 
так и при толщине 173 нм. 

Download 8,41 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   36   37   38   39   40   41   42   43   ...   58




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish