Влияние режимов ионно-плазменного напыления на структуру и свойства износостойких покрытий

 
3.2.1.2 Химический состав модифицированной поверхности резин 
Помимо рельефных особенностей поверхности необходимо установить 
химический состав покрытия. Сканирующий электронный микроскоп
JSM-5610 LV оснащен системой химического микроанализа EDX JED-2201, 
позволяющей производить одновременный автоматический качественный и ко-
личественный химический анализ до 99 интересующих участков изображения 
исследуемого объекта. Наличие низковакуумнного режима работы микроскопа 
позволило исследовать непроводящие неорганические и органические объекты 

---

100 
без пробоподготовки и нанесения проводящих покрытий, т.е. получили изоб-
ражение с реальной поверхности. Также провели неразрушающий качествен-
ный и количественный рентгеновский энергодисперсионный химический ана-
лиз объектов и получили карты и профили распределения элементов.
На рис. 3.20 – 3.25 представлены интенсивность распределения элементов и 
химический состав на поверхности исходных и модифицированных резиновых 
образцов с толщиной покрытия от 38 до 205 нм.
Химический анализ позволяет сделать вывод о составе исходных и моди-
фицированных образцов. На поверхности модифицированного образца форми-
руется покрытие из молибдена посредством его магнетронного распыления. 
При толщине покрытия 38 нм слой молибдена ложится вперемешку с молеку-
лами ингредиентов резиновой смеси. С увеличением толщины покрытия, 
вплоть от толщины 80 до 173 нм слой практически полностью прикрывает по-
верхность резины. По данным распределения молибдена в приповерхностном 
слое можно рассматривать как равномерное, что подтверждается результатами 
рентгеновского микроанализа. 
В данной работе по результатам химического анализа поверхностных сло-
ев установили химический состав (таблица 3.6) структуры исходной резины и 
модифицированной Мо с различной толщиной покрытия. После модификации 
ионами молибденовой мишени 99,95 % чистоты с увеличением толщины по-
крытия на поверхности существенно изменялся химический состав опытных 
модифицированных образцов, что хорошо видно в таблице 3.6 и на диаграм-
ме, представленной на рис. 3.26. 

---

101 
А
Б
Рис. 3.20 - Диаграмма интенсивности распределения элементов (А) и химический состав (Б) поверхности исходной резины 

---

102 
А
Б
Рис. 3.21 - Диаграмма интенсивности распределения элементов (А) и химический состав (Б) поверхности резины
модифицированной молибденом, толщина покрытия 38 нм 

---

103 
А
Б
Рис. 3.22 - Диаграмма интенсивности распределения элементов фаз (А) и химический состав (Б) поверхности резины
модифицированной молибденом, толщина покрытия 80 нм 

---

104 
А
Б
Рис. 3.23 - Диаграмма интенсивности распределения элементов (А) и химический состав (Б) поверхности резины
модифицированной молибденом, толщина покрытия 126 нм 

---

105 
А
Б
Рис. 3.24 - Диаграмма интенсивности распределения элементов (А) и химический состав (Б) поверхности резины
модифицированной молибденом, толщина покрытия 173 нм 

---

106 
А
Б
Рис. 3.25 - Диаграмма интенсивности распределения элементов (А) и химический состав (Б) поверхности резины
модифицированной молибденом, толщина покрытия 205 нм 

---

107 
Таблица 3.6 – Химический состав поверхностного слоя исходной и модифицированной резины с различной толщиной покры-
тия 
Образцы исходные 
и модифицирован-
ные Мо толщиной 
покрытия 
Химический состав поверхностных слоев, из них 
химических элементов, % 
в соединениях. %