Ўзбекистон республикаси фанлар академияси

ИЗГОТОВЛЕНИЕ ОРГАНИЧЕСКИХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЁНОК МЕТОДОМ 
SPIN COATING 
М.Х.Имомов – институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН РУз, 
Л.Р.Нурумбетова – Ташкентский государственный технический университет. 
[e-mail] 
Основной интересной областью органической электроники является производство 
органических 
электронных 
устройств. 
Технологии 
обработки 
неорганических 
полупроводников обычно включают сложные, дорогостоящие процессы, которые требуют 
высоких температур и высокого вакуума. Примеры сложных и дорогостоящих процессов, 
связанных с изготовлением неорганических полупроводниковых устройств, включают 
молекулярно-лучевую эпитаксию, химическое осаждение из паровой фазы, ионно-лучевую 
имплантацию для легирования, мокрое и сухое окисление в высокотемпературных печах, 
распыление и ультрафиолетовую фотолитографию и многие другие. Первоначально 
исследования в области органических электронных устройств касались небольших 
органических молекул, которые иногда называют пигментами. Изготовление с участием 
небольших органических молекул обычно включало термическое испарение небольших 
органических молекул с образованием тонких полупроводниковых слоев. Первый 
органический гетеропереходный солнечный элемент был изготовлен путем термического 
испарения органических электроноприемных и электронодонорных слоев малых молекул [1]. В 
конечном счете, производство органических солнечных элементов с гетеропереходом 
эволюционировало, чтобы включать обрабатываемые в растворе полупроводниковые 
сопряженные полимеры в качестве молекул доноров электронов наряду с органическими 
низкомолекулярными электронно-акцепторными материалами, такими как C
60
, которые все еще 
требовали термического испарения для осаждения. С появлением перерабатываемых в растворе 
производных фуллеренов, PC
61
BM и PC
71
BM, начала осуществляться полная обработка 
растворов солнечных элементов с органическим гетеропереходом [2]. 
Большой потенциал органической электроники заключается в возможности 
переработки сопряженных полимеров и фуллеренов, используемых в органических 
электронных устройствах. Обработка решений позволяет использовать множество уникальных 
и эффективных методов изготовления. На сегодняшний день наиболее популярным методом 
нанесения органических тонких частиц в исследовательских целях является центробежное 
покрытие (spin coating). Покрытие методом центрифугирования - это простая и компактная 

---

18 
технология изготовления, которая позволяет осаждать однородные органические вещества 
путем обработки раствора. На рисунке показана иллюстрация технологии изготовления 
покрытия методом центрифугирования. Как видно из рисунка, раствор, содержащий 
органические полупроводниковые материалы, падает на подложку, расположенную на так 
называемом «вафельном патроне», из-за широкого использования спинового покрытия при 
обработке кремниевых пластин в полупроводниковой промышленности на подложке 
удерживается до «вафельного патрона» вакуумом, создаваемым механическим насосом. Мотор 
раскручивает «вафельный патрон» и прикрепляет подложку с раствором, оставляя тонкую 
однородную органическую пленку. К сожалению, центробежное покрытие не является 
техникой, которая производит устройства большой площади или совместима с обработкой с 
рулона на рулон, требованием для изготовления устройства на основе органических солнечных 
элементов экономически эффективны. Покрытие методом центрифугирования также является 
расточительным материалом, так как большая часть раствора, осажденного на подложке перед 
прядением, прядется на подложке в процессе прядения. Несмотря на свои недостатки, 
центрифугирование является очень полезным методом для исследования органических 
солнечных элементов в научных кругах и промышленности.