B. A. Nazarbayeva

5.7  Bosim datchiklari 

 

 

Mikroelektron  qurilmalarni,  optik  tarkibiy  qismlar  uchun  tagliklarni  ishlab 

chiqarishda,  shuningdek  kimyoviy  va  boshqa  texnologik  jarayonlarni  amalga 

oshirishda  juda  past  bosimlarni  o‘lchashga  to‘g‘ri  keladi.  Ba’zi  bir  ilmiy 

tadqiqotlarni  o‘tkazishda  ham,  masalan,  fazoviy  tadqiqotlarda,  bunday 

o‘lchashlarni  bajarish  zarur  bo‘ladi. 

Vakuum 

atamasi  atmosfera  bosimidan  past 

bo‘lgan  bosimni  bildiradi,  biroq  u  gazlarning  bosimi  amalda  butunlay  bo‘lmagan 

hollarda  ishlatiladi.  Absolyut  vakuumni  olishning  iloji  yo‘q,  hatto  fazoviy 

kenglikda ham materiya butunlay mavjud bo‘lmagan biror-bir hudud yo‘q.  

 

Vakuumni  an’anaviy  datchiklar  bilan  ham  o‘lchash  mumkin,  bunda 

bosimning atmosfera bosimiga nisbatan manfiy qiymatlari qayd qilinadi, biroq bu 

juda  samarasiz  yondashuv  bo‘lib  hisoblanadi.  Odatdagi  bosim  datchiklari 

signal/shovqin 

nisbatining 

pastligi 

tufayli 

gazlarning 

juda 

kichik 

konsentratsiyalarini  aniqlay  olmaydi.  An’anaviy  bosim  datchiklaridan  farqli 

o‘laroq,  vakuumni  o‘lchagichlar  butunlay  boshqa  tamoyillarda  ishlaydi,  ular 

gazlarning  molekulalarining  ba’zi  bir  fizikaviy  xususiyatlariga  asoslanadi  va 

berilgan hajmdagi molekulalar sonini aniqlashdan iborat bo‘ladi. Bunday fizikaviy 

xususiyatlarga  issiqlik  o‘tkazuvchanlik,  yopishqoqlik,  ionlashish  va  boshqalar 

kiradi.