Фойдаланилган адабиётлар
1.Фаренбрух А., Бьюб Р. Солнечныеэлементы (теорияиэксперимент), М.,
Энергоатомиздат, 1987, -278 с.
2.Аморфные полупроводники: Пер. с англ./Под ред. М. Бродски. -М.: Мир,
1982.-418 с.
3.R. Aliyev, М. Аlinazarova, R. Ikramov. Исманова О.Т. Influence of the
temperature on efficient importance photo galvanic characteristics of solar
elements. Litters in IJAEE (Russia), N 3, 2014 pp.14-16.
4.R. Aliyev, М. Аlinazarova, R. Ikramov. A Semiempirical Efficiency Test for
solar cells based on AlGaAs- AlGaAs and Si. Applied solar energy vol.52 New
York No. 2, 2016. рр. 41-44
0
0,1
0,2
0,3
0,4
0,
5
U, В
0,
1
1,5
2
j
ф
, мА/см
2
T=293
K
T=214
K
1-
2-
b
a
1-расм. Аморф кремний асосли ҚЭ
ларининг
214
K
ва
293
K
температуралардаги
ВАХ
лари.1-
тажриба [2;407 б] ва 2-(9) формуладан
олинган ҳисоблаш натижалари
.
249
ИЗУЧЕНИЕ МОРФОЛОГИИ СКОПЛЕНИЙ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ
НИКЕЛЯ В МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ
д.ф-м.н. Н.А.Тургунов, докторант. Э.Х.Беркинов (ИФПМ НУ РУз)
студ. Д.Х.Мамажонова (НУ РУз)
Исследование морфологических строений примесных скоплений,
образующихся при диффузионном легировании монокристаллического
кремния
является
одним
из
актуальных
проблем
современной
микроэлектроники. Для получения полупроводниковых материалов с заранее
заданными свойствами необходимо учитывать каждый этап технологической
обработки образцов. Условия, создаваемые при легировании различными
примесями, являются одним из основных факторов, влияющих на
последующие процессы образования дефектных структур в объеме
монокристаллов кремния. Как показали результаты ранее проведенных
исследований [1-3] диффузионные параметры играют решающую роль в
формировании
разновидных
скоплений
примесных
атомов
в
кристаллической структуре. Поэтому определения оптимальных параметров
диффузии
имеет
наиболее
важное
значение
в
производстве
полупроводниковых приборов.
Изучения закономерностей кинетики образования примесных дефектов
в объеме монокристаллов кремния и особенности их внутреннего строения
показали, что эти особенности являются результатом тех или иных внешних
воздействий на дефектообразующую среду, изменений его геометрических
форм, структурного строения и химического состава. В работах авторов [4,5]
были исследованы отдельные стадии структурных и фазовых превращений,
происходящих под влиянием различных внешних воздействий в объеме
монокристаллического кремния. Однако, конкретно выявленных механизмов
последовательности формирования примесных скоплений элементов
переходной группы металлов не наблюдается.
С целью выявления морфологических параметров скоплений
примесных атомов никеля в объеме монокристаллов кремния, образующихся
при диффузионном легировании, нами проводились структурные
исследования методом электронно-зондового микроанализа с помощью
установки Superprobe JXA-8800R. Исследования осуществляли на модельных
образцах, которые были получены на основе монокристаллического кремния,
выращенного методом Чохральского.
Как показали результаты экспериментальных исследований, в
зависимости от скорости охлаждения после диффузионного отжига в объеме
образцов кремния, легированного никелем, наблюдаются микро- и
нановключения примесных атомов, с различными геометрическими формами
и размерами. При больших значениях скорости охлаждения (
охл
200
град/с), в основном, образуются примесные скопления с относительно
малыми размерами, которые достигают до 10-6 м. Они имеют иглообразную,
дискообразную, линзообразную или сферическую форму с однослойной
структурой. Схематическое представление разновидности скоплений
250
примесных атомов приведено на Рис. 1.
Рис. 1. Схематическое изображение разновидности скоплений
примесных атомов никеля в кремнии.
В объеме образцов, с медленным охлаждением (
охл
1 град/с) после
диффузионного отжига, наблюдаются примесные скопления, с размерами до
нескольких микрометров. Подобные микровключения имеют, в основном,
сферическую форму с многослойной структурой.
Таким образом выявлено, что значение скорости охлаждения образцов
после диффузионного отжига, существенным образом влияет на
морфологические параметры скоплений примесных атомов никеля в
монокристаллах кремния, в частности на их геометрические формы и
структурные строения.
Do'stlaringiz bilan baham: |