Ўзбекистон республикаси олий ва ўрта махсус таълим вазирлиги наманган муҳандислик – Қурилиш



Download 11,34 Mb.
Pdf ko'rish
bet147/268
Sana22.02.2022
Hajmi11,34 Mb.
#100425
1   ...   143   144   145   146   147   148   149   150   ...   268
Bog'liq
nammqi 2020kanferensiya

Фойдаланилган адабиётлар 
1.Фаренбрух А., Бьюб Р. Солнечныеэлементы (теорияиэксперимент), М., 
Энергоатомиздат, 1987, -278 с. 
2.Аморфные полупроводники: Пер. с англ./Под ред. М. Бродски. -М.: Мир, 
1982.-418 с. 
3.R. Aliyev, М. Аlinazarova, R. Ikramov. Исманова О.Т. Influence of the 
temperature on efficient importance photo galvanic characteristics of solar 
elements. Litters in IJAEE (Russia), N 3, 2014 pp.14-16. 
4.R. Aliyev, М. Аlinazarova, R. Ikramov. A Semiempirical Efficiency Test for 
solar cells based on AlGaAs- AlGaAs and Si. Applied solar energy vol.52 New 
York No. 2, 2016. рр. 41-44 

0,1
0,2
0,3
0,4 
0,

U, В 
0,

1,5 

j
ф
, мА/см
2
T=293

T=214

1- 
2- 


1-расм. Аморф кремний асосли ҚЭ 
ларининг 
214 
K 
ва 
293 

температуралардаги 
ВАХ 
лари.1-
тажриба [2;407 б] ва 2-(9) формуладан
олинган ҳисоблаш натижалари



249 
ИЗУЧЕНИЕ МОРФОЛОГИИ СКОПЛЕНИЙ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ 
НИКЕЛЯ В МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ 
д.ф-м.н. Н.А.Тургунов, докторант. Э.Х.Беркинов (ИФПМ НУ РУз)
студ. Д.Х.Мамажонова (НУ РУз) 
Исследование морфологических строений примесных скоплений, 
образующихся при диффузионном легировании монокристаллического 
кремния 
является 
одним 
из 
актуальных 
проблем 
современной 
микроэлектроники. Для получения полупроводниковых материалов с заранее 
заданными свойствами необходимо учитывать каждый этап технологической 
обработки образцов. Условия, создаваемые при легировании различными 
примесями, являются одним из основных факторов, влияющих на 
последующие процессы образования дефектных структур в объеме 
монокристаллов кремния. Как показали результаты ранее проведенных 
исследований [1-3] диффузионные параметры играют решающую роль в 
формировании 
разновидных 
скоплений 
примесных 
атомов 
в 
кристаллической структуре. Поэтому определения оптимальных параметров 
диффузии 
имеет 
наиболее 
важное 
значение 
в 
производстве 
полупроводниковых приборов.
Изучения закономерностей кинетики образования примесных дефектов 
в объеме монокристаллов кремния и особенности их внутреннего строения 
показали, что эти особенности являются результатом тех или иных внешних 
воздействий на дефектообразующую среду, изменений его геометрических 
форм, структурного строения и химического состава. В работах авторов [4,5] 
были исследованы отдельные стадии структурных и фазовых превращений, 
происходящих под влиянием различных внешних воздействий в объеме 
монокристаллического кремния. Однако, конкретно выявленных механизмов 
последовательности формирования примесных скоплений элементов 
переходной группы металлов не наблюдается. 
С целью выявления морфологических параметров скоплений 
примесных атомов никеля в объеме монокристаллов кремния, образующихся 
при диффузионном легировании, нами проводились структурные 
исследования методом электронно-зондового микроанализа с помощью 
установки Superprobe JXA-8800R. Исследования осуществляли на модельных 
образцах, которые были получены на основе монокристаллического кремния, 
выращенного методом Чохральского.
Как показали результаты экспериментальных исследований, в 
зависимости от скорости охлаждения после диффузионного отжига в объеме 
образцов кремния, легированного никелем, наблюдаются микро- и 
нановключения примесных атомов, с различными геометрическими формами 
и размерами. При больших значениях скорости охлаждения (

охл

200 
град/с), в основном, образуются примесные скопления с относительно 
малыми размерами, которые достигают до 10-6 м. Они имеют иглообразную, 
дискообразную, линзообразную или сферическую форму с однослойной 
структурой. Схематическое представление разновидности скоплений 


250 
примесных атомов приведено на Рис. 1. 
Рис. 1. Схематическое изображение разновидности скоплений 
примесных атомов никеля в кремнии. 
В объеме образцов, с медленным охлаждением (

охл

1 град/с) после 
диффузионного отжига, наблюдаются примесные скопления, с размерами до 
нескольких микрометров. Подобные микровключения имеют, в основном, 
сферическую форму с многослойной структурой.
Таким образом выявлено, что значение скорости охлаждения образцов 
после диффузионного отжига, существенным образом влияет на 
морфологические параметры скоплений примесных атомов никеля в 
монокристаллах кремния, в частности на их геометрические формы и 
структурные строения. 

Download 11,34 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   143   144   145   146   147   148   149   150   ...   268




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish