Ўзбекистон республикаси олий ва ўрта махсус таълим вазирлиги наманган муҳандислик – Қурилиш

Фойдаланилган адабиётлар 
1.Фаренбрух А., Бьюб Р. Солнечныеэлементы (теорияиэксперимент), М., 
Энергоатомиздат, 1987, -278 с. 
2.Аморфные полупроводники: Пер. с англ./Под ред. М. Бродски. -М.: Мир, 
1982.-418 с. 
3.R. Aliyev, М. Аlinazarova, R. Ikramov. Исманова О.Т. Influence of the 
temperature on efficient importance photo galvanic characteristics of solar 
elements. Litters in IJAEE (Russia), N 3, 2014 pp.14-16. 
4.R. Aliyev, М. Аlinazarova, R. Ikramov. A Semiempirical Efficiency Test for 
solar cells based on AlGaAs- AlGaAs and Si. Applied solar energy vol.52 New 
York No. 2, 2016. рр. 41-44 
0 
0,1
0,2
0,3
0,4 
0,
5 
U, В 
0,
1 
1,5 
2 
j
ф
, мА/см
2
T=293
K 
T=214
K 
1- 
2- 
b 
a 
1-расм. Аморф кремний асосли ҚЭ 
ларининг 
214 
K 
ва 
293 
K 
температуралардаги 
ВАХ 
лари.1-
тажриба [2;407 б] ва 2-(9) формуладан
олинган ҳисоблаш натижалари
. 

---

249 
ИЗУЧЕНИЕ МОРФОЛОГИИ СКОПЛЕНИЙ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ 
НИКЕЛЯ В МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ 
д.ф-м.н. Н.А.Тургунов, докторант. Э.Х.Беркинов (ИФПМ НУ РУз)
студ. Д.Х.Мамажонова (НУ РУз) 
Исследование морфологических строений примесных скоплений, 
образующихся при диффузионном легировании монокристаллического 
кремния 
является 
одним 
из 
актуальных 
проблем 
современной 
микроэлектроники. Для получения полупроводниковых материалов с заранее 
заданными свойствами необходимо учитывать каждый этап технологической 
обработки образцов. Условия, создаваемые при легировании различными 
примесями, являются одним из основных факторов, влияющих на 
последующие процессы образования дефектных структур в объеме 
монокристаллов кремния. Как показали результаты ранее проведенных 
исследований [1-3] диффузионные параметры играют решающую роль в 
формировании 
разновидных 
скоплений 
примесных 
атомов 
в 
кристаллической структуре. Поэтому определения оптимальных параметров 
диффузии 
имеет 
наиболее 
важное 
значение 
в 
производстве 
полупроводниковых приборов.
Изучения закономерностей кинетики образования примесных дефектов 
в объеме монокристаллов кремния и особенности их внутреннего строения 
показали, что эти особенности являются результатом тех или иных внешних 
воздействий на дефектообразующую среду, изменений его геометрических 
форм, структурного строения и химического состава. В работах авторов [4,5] 
были исследованы отдельные стадии структурных и фазовых превращений, 
происходящих под влиянием различных внешних воздействий в объеме 
монокристаллического кремния. Однако, конкретно выявленных механизмов 
последовательности формирования примесных скоплений элементов 
переходной группы металлов не наблюдается. 
С целью выявления морфологических параметров скоплений 
примесных атомов никеля в объеме монокристаллов кремния, образующихся 
при диффузионном легировании, нами проводились структурные 
исследования методом электронно-зондового микроанализа с помощью 
установки Superprobe JXA-8800R. Исследования осуществляли на модельных 
образцах, которые были получены на основе монокристаллического кремния, 
выращенного методом Чохральского.
Как показали результаты экспериментальных исследований, в 
зависимости от скорости охлаждения после диффузионного отжига в объеме 
образцов кремния, легированного никелем, наблюдаются микро- и 
нановключения примесных атомов, с различными геометрическими формами 
и размерами. При больших значениях скорости охлаждения (

охл

200 
град/с), в основном, образуются примесные скопления с относительно 
малыми размерами, которые достигают до 10-6 м. Они имеют иглообразную, 
дискообразную, линзообразную или сферическую форму с однослойной 
структурой. Схематическое представление разновидности скоплений 

---

250 
примесных атомов приведено на Рис. 1. 
Рис. 1. Схематическое изображение разновидности скоплений 
примесных атомов никеля в кремнии. 
В объеме образцов, с медленным охлаждением (

охл

1 град/с) после 
диффузионного отжига, наблюдаются примесные скопления, с размерами до 
нескольких микрометров. Подобные микровключения имеют, в основном, 
сферическую форму с многослойной структурой.
Таким образом выявлено, что значение скорости охлаждения образцов 
после диффузионного отжига, существенным образом влияет на 
морфологические параметры скоплений примесных атомов никеля в 
монокристаллах кремния, в частности на их геометрические формы и 
структурные строения.