O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi toshkent

__________	Ibrohimov V
-TDTU Qo‘qon filiali “Muhandislik texnologiyalar” kafedrasi st-o‘qituvchi
Taqrizchi:
___________	Bo‘tayev T.	-TDTU Qo‘qon filiali “Muhandislik texnologiyalar” kafedrasi dotsenti, t.f.n

O‘quv-uslubiy ko‘rsatma Elektronika va elektr texnikasi fakultetining “Muhandislik texnologiyalar” kafedrasi majlisida (20___ yil “____” ____ ___-son bayonnoma) muhokoma etildi va filial Kengashiga tavsiya etildi.

“Muhandislik texnologiyalar ” kafedrasi mudiri	________ _______________________
“Muhandislik texnologiyalar” kafedra yig’ilish kotibi	_________ ______________________

O‘quv-uslubiy ko‘rsatmasi Toshkent Davlat texnika universitetining Qo’qon filiali Kengashida ko‘rib chiqildi va tasdiqlandi. (20___ yil “ ____ ” ____ ___ - son bayonnoma).

MUNDARIJA

№	Labaratoriya mashg‘ulotlarining mavzulari
1	Metall va qotishmalarning mikroskopik tahlili.	4
2	Kristall va amorf materiallarning qotish (erish) egri chizig‘ini o‘rganish.	6
3	Qattiq jismlarda yorug‘likning yutilish koeffitsientini aniqlash.	8
4	Suyuqliklarda yorug‘likning yutilish koeffitsientini aniqlash.	11
5	Yarimo‘tkazgichli materiallarning solishtirma qarshiligini tadqiq etish.	17
6	Kremniyda dislokatsiyalar tuzilishini o‘rganish.	19
7	Yarimo‘tkazgichlar materiallarda fotoelement yordamida yorug‘likning sinishi va qaytishi xossalarini o‘rganish.	28
8	Polikristallar tuzilishini o‘rganish.	32
9	Yarimo‘tkazgichlarda asosiy tok tashuvchilarning konsentratsiyasini aniqlash.	40
10	Yemirilish shakli bo‘yicha monokristallar yo‘nalishini (orien-tatsiyasini) aniqlash.	52

1- Laboratoriya ishi.


Metall va qotishmalarning mikroskopik tahlili


Ishdan maqsad: Metall va qotishmalarning mikroskopik tahlili tavsifini o’rganish.
Kerakli asboblar: Mikroskop IBS – 9 tur tuzilishli sirti jillirlangan polikremniy (namuna) mikrometr.


Nazariy qismi

Polikristall kremniyda hozirgi paytda yarim o’tkazgich asboblar va integral mikroskoplar ishlab chiqarish tehnologiyalarini keng qo’llanilishi tashuvchisi.

1. 
   to’liq dielektr sikli muxofazali integral tuzilishining taglik kristallar tashuvchisi
   
2. 
   metall dielektrik yarim o’tkazgich – tranzistorlar uchun.
   

5. 
   aktiv tuzilmalar – diodlar, fotoelementlar va tranzistorlar sifatida ishlatiladi. Polikristall kremniy xususiyati uning tuzilish mohiyatiga kuchli bog’liq: donachanig zichligi va o’lchami: donachalar burilish sirti (donachalar aro chegara - DACH). Polikristallning bu parametrlari o’zaro bog’liq ya’ni donachalar zichligi ortishi bilan donachalar o’lchami kamayadi va donachalar aro chegaraning solishtirma sirti ortadi.
   

Donachalar aro chegaraning mavjudligi va ularning foyda hamda legirlovchi kirishmalar bilan o’zaro ta’sir harakteri polikristall xususiyatini kutilmaganda keskin o’zgartiradi.
Bu shunga asoslanganki, DACH ularda elektrik faol markazlarni hosil qiladi va bu markazlar zaryad tashuvchilar uchun ushlab oluvchi satxlar vazifasini o’tashi mumkin hamda rekombenatsiya va sochilish jarayonlariga tasir qilishi mumkin.
Polikrestall kremninyning o’tkazuvchanligi legirlovchi kirishma miqdoriga hamda donachalar o’lchami va donachalar aro chegara holatiga ham bog’liq. 1- chizma legirlovchi kirishma miqdorini monokristal va polikristal kremniyni solishtirma qarshiligiga ta’siri ko’rsatilgan.
P, Om/sm²


10³
0

₁₀-3
1
² N, sm^-3

_{1015 10}16 ₁₀17 ₁₀18

1. 
   polikristall kremniy uchun 2- monokristall kremniy uchun
   

Shunday qilib polikristallar va ular asosida yaratilgan asboblarni elektrofizik xususyatini o’rganishda polikristallar strukturasi parametrlari xaqidagi ma’lumotlarni bilish talab qilinadi.

Polikristallar strukturasining o’rganishning turli usullari mavjud. Ular orasida eng oddiy va qulay usuli ―metallografik” usul (2-chizma). Bu usulning moxiyati shundan iboratki, bunda mikroskop yordamida 100 marta kattalashtirib , polikritall tuzulishini xarakterlab beruvchi kattaliklarni bir necha ko’rish maydonida solishtirish va o’lchash orqali parametrlarini aniqlash mumkin. Polikristalldagi donachalar zichligini va o’lchamini aniqlash uchun ikkita usuldan foydalaniladi.

1. 
   Djeyfries usuli
   

Mikroskopni jilosiz ob’ektivi ostiga qo’yilgan ma’lum kvadrat yuza birligiga to’g’ri kelgan polikristall donachalar miqdori n-ni xisoblanadi. Xisoblash qulay bo’lishi uchun mikroskop ko’rsatishini shunday kattalashtirish kerakki, bunda chizilgan yuzada 30 dan 50 gagacha donalar bo’lishi kerak. Donachalar sonini bilgan xolda silliqlangan sirt yuza birligiga to’g’ri keluvchi donachalar sonini n₀ ni va donachalar yuzasi F kv.mm. ni xisoblash mumkin. Buning uchun: 1. Ob’ektivni jilosiz shishasida chizilgan kvadratning ichidagi to’liq donachalar soni P-ni va kvadrat tomonini kesib o’tgan donachalar soni q-ni xisoblanadi. Agar kvadrat tomonlari donachalarni teng o’rtasida bo’ladi deb qarasak, u xolda kvadratdagi donachalarning umumiy soni