Основные направления обеспечения гендерного равенства в узбекистане

Фойдаланилган адабиётлар рўйхати 
1.Саипова К.Д. Трансформация национального состава населения 
Узбекистана в годы войны над фашизмом. // International journal of Central Asian 
studies. The International Association of Central Asian Studies Korea University of 
International studies. - Volume 22. 
– Korea, 2018. – P.145-169. 
2.Саипова К.Д. Бағрикенг Ўзбекистон диаспоралари тарихи (Бухоро 
яҳудийлари, немис, поляк, корейс, грек, уйғур, болтиқбўйи халқлари мисолида). 
Жамоавий монография. – Turon-Iqbol, 2019. – 10,23 б.т. 
3.
Саипова К.Д. Толерантность – как одна из форм борьбы против 
территоризма. / Противодействие идеологии территоризма: концепции и адресная 
профилактика. Научно-практическая конференция. – Уфа, 6 июня 2019 год. – 
С.312-316. 
4.
Саипова К.Д. Ўзбекистон тарихи. Олий ўқув юртлариринг тарих 
факультети талабалари учун дарслик. I-китоб. – Тошкент: Фан, 2018. Ҳаммуаллиф. 
– 32 б.т. 
5.Саипова К.Д., У.Бўтаев, У.Маҳкамов. Қадимги дунё ва ўрта асрларда ғарб 
ва шарқ фалсафасининг ўзаро муносабатлари. Жамоавий монография. – Тошкент: 
Mumtoz so’z, 2019.– 10 б.т.
6.Л.Ф. Пўлатова ф-м.ф.н. катта ўқитувчи (ТТЙМИ) 
ҚАТТИК ЖИСМ ЮЗАЛАРИНИ ВА ЭПИТАКЦИАЛ ҚАТЛАМЛАРИНИ 
ЎРГАНИШ УСУЛАРИ 
 
доц.Раббимов Эшбой, Суярова Матлуба, Саъдуллаев Отабек 
Жиззах политехника институти 
Электирон техника сохаси айникса унинг асосий йуналиши – 
микроэлектроника ХХ асрнинг иккиничи ярмидан бошлаб жуда тез ривожлана 
бошлади. Микроэлектрониканинг истикболи эса юкори талабларга жавоб 
берадиган янгидан – янги хусусиятларга эга бўлган материалларни яратиш ва 
ишлаб чикариш билан белгиланади. Ўказгич ярим ўтказгич ва диэлектирик 
сохасида бундай янги ноёб хусусиятли кўп компонентли кўп катламли материаллар 
юпка ва ўта юпка плёнкалар хосил килиш учун эса электро техника материаллари 
технологиясида ўта замонавиий усулларини тадбиқ килиш талаб қилинади. Бунда 
илғор тежамли экологик тоза ва чикиндисиз ишлайдиган технологик жараёнларини 
жорий этиш электирон сохасининг риовожланиши учун асосий омил хисобланади.
Микроэлектирониканинг махсулотлари бўлган куёш элеминтлари интеграл 
микросхемалар микропроцессорлар ўта юкори частотали дедекторлар интеграл 
схемалари лазерлар мини ва микро ЭХМ ва бошқаларини яратиш янги хусусиятга 
эга юпка ва ўрта юпка кўп компонентли қатламлар тизимларини яратиш тақазо 

---

381 
қилади. Шу боисдан хам кейинги йилларда юпка ва ўта юпка қатламлари хосил 
қилиш технологияси ва физикасига бўлган эътибор кескин ортиб кетади.
Қаттик жисм юзаларини ( эпитакциал юпка қатламларини ) ўрганиш учун 
жуда кўп усуллар ишлатилади. Бу усуллар юзалари электиронлар юбориш ионлар 
ва нейтрон атомлар юбориш фотонлар ионлар нейтрал атомлар окимининг тахлил 
қилишга асосланади. 
Эпитакциал – юпқа плёнканинг таркибини аниқлаш учун қўлланиладиган 
асосий усуллар:
А) оже электрон спектроскопия (ОЭС). 
Б) иккиламчи электронларнинг масс спектроскопияси (ИИМС). 
Бу усуллар эпитакциал плёнкаларнинг элементлар ва кимёвий таркиби 
тўғрисида зарур сифатий ва миқдорий маьлумотлар берилади.
ОЭС кейинги пайтда қаттиқ жисм сиртларининг кимёвий таркибини таҳлил 
қилишда энг кўп тарқаган усуллардан бири бўлиб қолди. Бу усулнинг асосий 
афзаликлари қуйдаглардан иборат: қалинлиги 5 – 20 A бўлган юза қатламларининг 
катта анниқлик билан жуда тез (бир неча минутда) фурсатда таҳлил қила олади. 
Ҳозирги пайтда фақатгина илмий изланишлардагина эмас, балки стандарт 
тахлил усули сифатида электрон асбобсозликда кенг қўлланилади. У айниқса , 
ярим ўтказгичлар техналогиясида, материалшуносликда , катализда, минириалогия 
ва фойдали қазилмаларни таҳлил қилишда, кристалларни ўстиришда кенг 
қўлланилмоқда. ОЭС билан бир пайтда юзаларни ионлар ёрдамида емириш 
усулларини қўллаб жисмларнинг юза ости қатламларни (ҳажмини) ҳам таҳлил 
қилиш мумкун. 
ОЭС усулининг яратилиши принципи, турлари, имкониятлари ва олинган 
натижалари тўғрисида рус ва инглиз тилларида жуда куп илмий монография 
мақолалар эьлон қилинган. Иккиламчи ионларнинг масс - спектроскопияси 
(ИИМС). Қаттиқ жисм юзасини ионлар бамбардировка қилинганда унда тўрт ҳил 
турдаги зарралар учиб чиқиши мумкин. Шулардан ионлар ва нейтрал атомларнинг 
учиб чиқиши юзанинг емирилишига олиб келади. Қаттиқ жисм сирт юзаси 
қатламидан чиқаётган зарраларни масса бўйича таҳлил қилиш жисмнинг юза 
таркиби ҳақида тўғридан тўғри малумот беради.
Бу усулнинг сезгирлиги жуда юқори бўлиб, кўпгтна элементлар учун
% ни ташкил қилади ва тушиш бурчагиги боғлиқ бўлади. ИИМС усулида кўпинча 
ва
ионлари ишлатилади. 
Юзаларни тахлил қилишда тушаётган ионларнинг интенсивлигини кичик, 
тушиш бурчагини эса каттароқ (80-
) қилиб олишга ҳаракат қилинади. Жисм 
ионлар билан тўпга тутилганда ундан нейтрал атомлар бир ва бир неча марта 
ионлашган мусбат ва манфий ионлар ҳамда хар ҳил кластерлар учиб чиқиши 
мумкин.Юзанинг ҳолатига қараб битта жисмнинг ўзи учиб чиқаётган ионларнинг 
сони нейтрал атомларга нисбатан ўнлаб, юзлаб ўзгариши мумкин. 
Жисм таркибини ундан бирламчи ионлар тасирида учиб чиқаётган 
иккиламчи ионларнинг массасини таҳлил қилиш йўли билан ўрганиш иккиламчи 
ионларнинг масс – спектроскопияси дейилади.