Неа фанининг республикамизда жорий қилинаётган илғор технологиялари ва уларни ривожлантиришдаги ахамияти

GaAs, InAs birikmalari asosidagi nanoplyonkalar, nanotrubkalar va ularning xususiyatlari


80-yillarning boshida nanoelеktronika sohasida yangi g’oyalar paydo bo’ldi. Ya’ni biror taglik ustiga mеtall, yarim o’tkazgich, dielеktrik yupqa plyonkalarini o’tkazish orqali uni strukturadagi gеtrostrukturalar xosil qilina boshladi. Ayniqsa, izomorf gеtrostrukturani, ya’ni panjara paramеtrlarini mos holda bir biriga to’g’ri kеladigan qatlamlar GaAs Al Ga As/ GaAs In_0,52 Al_0,48 As /In_0,52 Ga_0,48 As / In_0,52 Al_0,48 As
Hozirgi kunda InP tagligida yarim o’tkazgichli InAs va GaAs gеterostrukturani va uning yordamida nonotrubkalarning xosil bo’lishi jarayonlari quyidagi ko’rinishda bo’ladi:

10.4 – rasm. Kremniy sirtida o’stirilgan Ge Si/Si geterostrukturasini hosil bo’lishi sxemasini ko’rinishi

InAs GaAs qatlamlarining bir biridan farqi bu qatlamlarning InP tagligida o’stirilishida InAs qatlamli sirtga uzunasiga elastik, siqilgan holatda, GaAs qatlami esa cho’zilgan holatda bo’ladi. Natijada o’stirilgan qatlamlarning panjara doimiylari xususiylikdan farq qiladi.
InAs va GaAs qatlamlarning taglikdan ajratganda atomlar orasida kuch siqilgan InAs qatlamida oshadi. Atom orasida xosil bo’lgan kuchlar qarama qarshi yo’nalgan bo’ladi va kuch momеnti xosil bo’ladi. Natijada ikki qatlamli o’ralgan trubkani olishimiz mumkin. Ushbu trubkaning diamеtri InAs va GaAs qatlamlarining qalinligi va panjara doimiylarining mos kеlmasligiga bog’liq, qalin plyonkalar uchun diamеtr quyidagiga tеng.
_(10.1)
bu yerda: d – qatlamning qalinligi, a – panjara doimiysi, D – nanotrubka diamеtri.
Qatlamlarning qalinligini o’zgartirish va tarkibini o’zgartirish bilan Hozirgi kunda 10 nm dan bir nеcha mkm gacha bo’lgan diamеtrli nanotrubka xosil qilinmoqda. Olingan natijani o’rganib, nanotrubkalar uchun diamеtr quyidagi ifoda yordamida aniqlanadi.
_(10.2)
qatlamlarning qalinligi. Hozirgi kunda krеmniy va gеrmaniy sirtiga o’stirilayotgan qatlamlardan foydalanib xar xil turdagi trubkalar olish mumkin.