Моделирование свч-транзистора на основе эпитаксиальной гетероструктуры (hemt) с помощью сапр synopsys Sentaurus tcad

Моделирование СВЧ-транзистора на основе эпитаксиальной гетероструктуры (HEMT) с помощью САПР Synopsys Sentaurus TCAD

PDF версия

17.08.2012 Проектирование Статьи
В статье проиллюстрированы возможности инструментов приборно-технологического моделирования нового поколения на реальном примере. Использование моделирования позволяет ускорить разработку, оптимизировать технологический процесс без производства тестовых партий устройств, улучшить параметры получаемых приборов и, как результат, снизить стоимость конечного продукта.
Компания Synopsys — один из мировых лидеров в области создания САПР для приборно-технологического моделирования (TCAD). Sentaurus TCAD — динамично развивающееся семейство инструментов TCAD от Synopsys с периодичностью обновления 9 месяцев, основной задачей которого является обеспечение разработчиков средствами приборно-технологического проектирования нового поколения, а также интеграция этих средств в общий маршрут проектирования САПР СБИС.
Основной акцент в развитии инструментов приборно-технологического проектирования делается на моделировании технологического процесса, гетероприборов, приборов, фотодетекторов, светоизлучающих диодов (LED) и лазеров, а также на анализе трехмерного растекания носителей заряда.
Основная задача данной статьи — иллюстрация возможностей инструментов приборно-технологического моделирования нового поколения на реальном примере, в рамках которой компанией Synopsys реализован широкий набор инструментов для решения различных задач. Использование моделирования позволяет ускорить разработку, оптимизировать технологический процесс без производства тестовых партий устройств, улучшить параметры получаемых приборов и, как результат, снизить стоимость конечного продукта.
Ниже перечислим использованные инструменты Sentaurus TCAD и дадим их краткую характеристику:
Sentaurus Workbench — это рабочая среда для построения DoE (Design of Experiment), GUI (Graphical User Interface) платформа для последовательного расчета узлов, перевода формата данных.
Sentaurus Structure Editor (SSE) — графический пользовательский интерфейс и дешифратор скрипта для создания 2D/3D структуры устройства.
Sentaurus Mesh — инструмент, предназначенный для создания расчетных 1D/2D/3D сеток для последующего решения электрофизических уравнений.
Sentaurus Device — 1D/2D/3D инструмент, предназначенный для расчета различных характеристик и для изучения поведения прибора, поддерживающий различные модели переноса; эффекты квантизации носителей с моделью градиента концентрации; эффекты квантизации носителей, использующие метод Шредингера; моделирование шумов (фликкер-шум, рекомбинация/генерация, диффузионный шум), гетероструктурное моделирование и другие.
Tecplot, Inspect — 1D/2D/3D инструменты визуализации, предназначенные для отображения графиков (Inspect) и 1D/2D/3D профилей и сечений структур (Tecplot).
Для иллюстрации возможностей Synopsys Sentaurus TCAD в данной работе создан проект СВЧ-транзистора. Главная задача заключалась в расчете зависимостей тока стока от напряжений сток-исток (Id-Vds) и сравнении их с экспериментальными, а также выявлении распределения электростатического потенциала, распределения примеси, распределения концентрации электронов и зонной диаграммы СВЧ-транзистора.
В ходе работы был составлен маршрут создания и расчета СВЧ-транзистора в Sentaurus Workbench с различными варьируемыми параметрами; на иллюстрации указываются используемые значения переменных каждого инструмента (см. рис. 1).

Рис. 1. Внешний вид проекта в Sentaurus Workbench

При этом проект в Sentaurus Workbench был разделен на следующие этапы:
– создание структуры устройства с использованием инструмента Sentaurus Structure Editor;
– генерация расчетной сетки с помощью инструмента Sentaurus Mesh для последующего решения электрофизических уравнений;
– приборно-технологическое моделирование, расчет ВАХ и других параметров с использованием инструмента Sentaurus Device;
– визуализация структур и графиков и параметров с помощью инструментов Tecplot, Inspect.
В начале работы в Sentaurus Workbench были последовательно добавлены все необходимые для моделирования инструменты, указаны используемые значения переменных. Инструмент Sentaurus Workbench отображает внешний вид проекта в графическом интерфейсе, содержит полную информацию о каждом узле, инструменте. С помощью Sentaurus Workbench мы можем создать не какой-либо конкретный прибор, а целый набор структур с различными значениями толщин слоев, длины затвора, глубины расположения затворной канавки и т.д.
Геометрическая модель транзистора была создана с помощью инструмента Sentaurus Structure Editor (см. рис. 2), в котором выполняется моделирование «простых» технологических операций на геометрическом уровне (осаждение, травление, создание маски). Структура прибора при этом представляется в виде набора геометрических объектов, происходит процесс их формирования и эволюции.
Для электрофизического моделирования требуется построить конечно-элементную сетку, на узлах которой будет проводиться решение электрофизических уравнений. Для этого используется инструмент Sentaurus Mesh.

Рис. 2. Структура транзистора в Sentaurus Structure Editor

Cгенерированная расчетная сетка имеет размерность около 20 тысяч узлов. При генерации сетки важно, чтобы получившаяся расчетная сетка была пропорциональна размерам прибора. При создании расчетной сетки необходимо учитывать такие особенности современных приборов, как структурные переходы, высокие градиенты концентраций носи­телей и т.п.
Построение расчетной сетки играет важную роль и в обеспечении эффективного и точного решения задачи, однако необходимо учитывать, что слишком маленькое значение минимального шага сетки помимо увеличения точности моделирования приведет к значительному увеличению времени расчета. Для примера на рисунке 3 приведен фрагмент области стока.

Рис. 3. Фрагмент двумерной сетки, сгенерированной программой Sentaurus Mesh (область стока)

Моделирование и расчет ВАХ транзистора
Для решения электрофизических уравнений в узлах расчетной сетки и получения ВАХ СВЧ-транзистора в проекте использован инструмент Sentaurus Device. При электрофизическом моделировании была решена система из четырех уравнений, включающих уравнение Пуассона, уравнения непрерывности для электронов и дырок, а также уравнение переноса энергии для электронов. Расчеты производились с использованием физических моделей, необходимых при моделировании приборов на гетеропереходах типа НЕМТ, таких как:
– квантование носителей в канале транзистора;
– туннелирование через гетеропереходы;
– термоионная эмиссия;
– нелокальный разогрев носителей.
На электроде затвора было применено граничное условие, связывающее концентрации носителей на контакте и нормальные компоненты потоков носителей с соответствующей высотой барьера Шоттки.
Решение систем уравнений на расчетной сетке в несколько десятков тысяч узлов — достаточно сложная задача. Основной объем вычислений приходится на решение систем линейных алгебраических уравнений (ЛАУ) с разреженными матрицами. При решении такой задачи удобно использовать итерационные методы для систем ЛАУ, которые обеспечивают достаточное быстродействие и разумное потребление памяти вычислительной системы. Используемые в инструменте Sentaurus Device итерационные методы решения систем ЛАУ интегрированы в алгоритм Iterative Linear Solver (ILS). Данный алгоритм позволяет эффективно решать задачи большой размерности с достаточной точностью и за приемлемое время.
Для достижения необходимой точности решения поставленной задачи необходимо было провести калибровку и исследовать влияние различных параметров физических моделей на ВАХ. После оптимизации был произведен расчет зависимости тока стока от напряжения затвор-исток (Id-Vgs) СВЧ-транзистора на сетке размерностью в 20 тысяч узлов, это заняло около 1 часа, с распараллеливанием вычислений на четырех процессорах типа AMD Opteron 2,6 ГГц 64x. Для расчета зависимости тока стока от напряжения сток-исток (Id-Vds) для фиксированных напряжениях затвор-исток (Vgs = 0 В, –0,2 В, –0,4 В, –0,6 В, –0,8 В, –1 В, –1,2 В) СВЧ-транзистора на сетке в 20 тысяч узлов потребовалось примерно 5 часов. Рассчитанные ВАХ и зонные диаграммы отображены с помощью инструментов визуализации Inspect и Tecplot.
На рисунках 4—6 приведены результаты расчета распределения концентрации электронов в стоковой области, распределение электростатического потенциала в моделируемой структуре и зонные диаграммы транзистора.

Рис. 4. Распределения концентрации электронов (слева — во всей структуре, справа — в подстоковой области)

Рис. 5. Распределение электростатического потенциала в моделируемой структуре (слева — во всей структуре, справа — в подстоковой области)

Рис. 6. Зонная диаграмма pHEMT транзистора AlGaAs/InGaAs/GaAs

На рисунке 7 приведены экспериментальные и расчетные зависимости тока стока от напряжения на сток-истоке (Id-Vds) для фиксированных напряжений на затворе. Результаты моделирования доложены и одобрены Санкт-Петербургским физико-технологическим Научно-образовательным Центром РАН (СПб ФТНОЦ РАН).

Рис. 7. Экспериментальные и расчетные ВАХ Id(Vds) транзистора

Моделирование проводилось с использованием адаптивных конечно-элементных сеток (совокупность конечных элементов в расчетной области прямоугольной формы, которые малы по сравнению с размерами расчетной области. Их вершины называют узлами конечно-элементной сетки), что позволило адекватно учесть пространственные неоднородности в структуре полупроводникового прибора, такие как гетеропереходы и сверхрешетка.
При проведении анализа и оптимизации входных/выходных параметров СВЧ-транзистора использовались эффективные алгоритмы распараллеливания вычислений для получения результатов в режиме реального времени.
Маршрут проектирования реализован в виде проекта в инструменте Sentaurus Workbench, что позволило параметризовать исходные данные для последующего анализа чувствительности расчетных электрофизических параметров на вариацию параметров структуры.
При подготовке данной статьи основной задачей мы посчитали не только описание функций инструментов Sentaurus TCAD компании Synopsys, но и демонстрацию примера расчета с помощью данной системы. В процессе работы была создана параметризованная модель СВЧ-транзистора, смоделирован профиль распределения примеси, электронов, электростатического потенциала в структуре, построена расчетная сетка для последующего приборно-технологического моделирования, рассчитаны переходные характеристики СВЧ-транзистора, семейство выходных стоковых характеристик при различных напряжениях на затворе, характеризующие работу прибора, а также зонные диаграммы.
Рассмотренный проект можно использовать не только с целью получения электрофизических характеристик конкретного СВЧ-транзистора, но и как средство исследования целого семейства подобных приборов, их свойств, поведения и т.д. С помощью проведения калибровки, меняя геометрические и физические параметры транзистора, можно уменьшить количество реальных экспериментов по изготовлению и измерению полупроводниковых структур, а следовательно, снизить стоимость конечного изделия.

Учебное пособие по установке Sentaurus TCAD 2013 в системе RedHat7.0 Linux

Это руководство адаптировано для рабочей станции VMware 14 и Red Hat 7.0 (X86_64).
Подготовка к установке Sentaurus2013 TCAD
Четыре требования для установки TCAD Sentaurus2013
1. Рабочая станция VMware X86_64 (установленный физический компьютер можно игнорировать)
2. Red Hat 7.x X86_64 (другие системы Linux не были проверены, некоторые друзья могут попробовать это)
3. Установочные файлы, необходимые для установки
4. Генератор секретных файлов

1. Документы, которые необходимо подготовить перед установкой Sentaurus2013

1. Система RedHat7.0 Linux
2. Установщик установочного пакета Sentaurus (Synopsys) - _v3.0
3. Sentaurus (Synopsys) запускает пакет лицензий Синопсис общего лицензирования (SCL) scl_v11.5
4. Установочный пакет Sentaurus (Synopsys) Sentaurus_vH-2013.03
5. Генератор лицензий Sentaurus (Synopsys) sentaurus_crack
Во-вторых, установить введение установочный файл Sentaurus2013
Папка Sentaurus_vH-2013.03 содержит следующие три файла (установочный файл TCAD Sentaurus2013)
1, файл установочного пакета sentaurus_vH_2013.03_common.tar
2, 64-разрядный файл установочного пакета sentaurus_vH_2013.03_amd64.tar
3. Пример библиотечного файла Sentaurus_applications_library_vH_2013.03_common.tar
Папка scl_v11.5 содержит следующие три файла (используются для запуска службы лицензий)
1, файл пакета установки запуска подключения scl_v11.5_common.tar
2, scl_v11.5_amd64.tar начать 64-битный файл пакета установки подключения
3, scl_v11.5_linux.tar Файл исправления системы Linux (может быть удален в соответствии с различиями версий системы)
Установщик - файлы, содержащиеся в папке _v3.0 (установщик)
1, setup.sh установить программу запуска Sentaurus (Synopsys), установить Sentaurus (Synopsys) и SCL устанавливаются из файла setup.sh
3. Установите Sentaurus2013 TCAD
(1) Сначала установите пакеты программного обеспечения, необходимые для TCAD Sentaurus2013 (системы Red Hat по умолчанию не установлены)
****************************************************************************************************************
Install Missing Packages and Dependencies (required for all systems)
(RHEL7)
yum install libXaw
yum install redhat-lsb
rpm –ivh compat-libstdc++-33-3.2.3-69.el6.x86_64.rpm

(2) Во-вторых, установите SCL

./setup.sh -install_as_root # Запустите установщик
Нажмите «Пуск>» >> «Далее>» >> «Далее>» >> выберите каталог установочного пакета SCL >> «Далее>» >> выберите 11.5 >>
«Далее>» >> Выберите SCL (Общее лицензирование Synopsys) >> «Далее>» >> Выберите SCL (Общее лицензирование Synopsys) >>
«Далее>» >> Выберите amd64-Red Hat Enterprise Linux: 64-разрядная >> Выберите linux-Red Hat Enterprise Linux v4.8, v5.x, v6.x >>
"Далее>" >> Выберите каталог установки SCL "/ opt / synopsys / SCL" >>
“Yes”>>“Accept,install”>>“Finish”>>“Dismiss”

(3) В-третьих, установите Sentaurus2013

./setup.sh -install_as_root # Запустите установщик
Нажмите «Пуск>» >> «Далее>» >> «Далее>» >> Выберите каталог установочного пакета Sentaurus2013 >> «Далее>» >> Выберите H_2013.03 >>
"Далее>" >> Выберите Sentaurus >> Выберите библиотеку приложений Sentaurus >>
«Далее>» >> Выбрать Sentaurs >>
«Далее>» >> Выберите amd64-Red Hat Enterprise Linux: 64-разрядная >>
"Далее>" >> Выберите каталог установки Sentaurus2013 "/opt/synopsys/H_2013.03" >>
“Yes”>>“Accept,install”>>“Finish”>>“Dismiss”

4. Настройте переменные среды

Найдите файл / etc / bashrc в системе Linux, откройте файл и добавьте следующие переменные среды в конце файла
export TcadPATH=/opt/synopsys/H_2013.03
export SclPATH=/opt/synopsys/SCL
export LicPATH=/opt/synopsys/SCL/admin/license/license.dat
export PATH=$SclPATH/amd64/bin:$PATH
export PATH=$TcadPATH/bin:$PATH
export LM_LICENSE_FILE=$LicPATH
export SNPSLMD_LICENSE_FILE=$LicPATH
export STDB=$HOME/STDB

Убедитесь, что файл взлома Sentaurus2013 действителен

Введите / opt / synopysy / SCL / amd64 / bin / sssverify /opt/synopysy/SCL/admin/license/license.dat под linux
Убедитесь, что взлом успешно. Следующий английский, очевидно, означает успех.
License file integrity check PASSED!
---------------------------------------------------------
You may now USE this license file to start your license server.
Please don't edit or manipulate the contents of this license file.
Поздравляем, вы в основном выполнили все шаги.

Запустить Sentaurus2013

Введите команду swb или GENESISe в терминале

V. Распространенные ошибки

не может начать
1. Используйте корневую учетную запись, чтобы открыть файл конфигурации.
gedit /etc/sysconfig/grub
1.1. Будет включена строка GRUB_CMDLINE_LINUX
GRUB_CMDLINE_LINUX="crashkernel=auto rd.lvm.lv=cl/root rd.lvm.lv=cl/swap XXXX rhgb quiet"
1.2. Заменить строку между "rd.lvm.lv = cl / swap" и "rhgb quiet" на "net.ifnames = 0 biosdevname = 0"
rd.lvm.lv=cl/swap net.ifnames=0 biosdevname=0 rhgb quiet 
2. Восстановите файл конфигурации grub.
grub2-mkconfig -o /boot/grub2/grub.cfg
3. Переименуйте файл конфигурации ifcfg-eth0
Исходный файл конфигурации сетевой карты находится в каталоге / etc / sysconfig / network-scripts / с именем ifcfg-enXXXX,
Назовите файл ifcfg- за eth0, затем откройте файл и назовите значения NAME и DEVCIE как eth0 следующим образом:
mv /etc/sysconfig/network-scripts/ifcfg-enXXXX /etc/sysconfig/network-scripts/ifcfg-eth0
Два измененных поведения в файле:
NAME=eth0
DEVICE=eth0
4. Перезапустите Linux
reboot
Используйте команду ifconfig, вы увидите, что имя сетевой карты изменено на «eth0», выполните команду lmhostid, вы можете обнаружить, что MAC-адрес отображается нормально

Sentaurus не запускается успешно каждый раз при перезапуске Linux

Программное обеспечение Sentaurus установлено и служба лицензий запущена правильно! Однако, если вы перезагрузите компьютер и войдите в систему снова,
Sentaurus (swb) по-прежнему недоступен. Вам все равно нужно запустить lmgrd, чтобы запустить службу лицензий. Для следующего запуска
Служба лицензий может быть запущена при запуске системы. Мы изменим файл /etc/rc.local следующим образом:
su-root # Переключение в корневую среду
gedit /etc/rc.local # Откройте файл конфигурации
Добавьте следующую командную строку в конец файла:
/opt/synopsys/SCL/amd64/bin/lmgrd -c /opt/synopsys/SCL/admin/license/license.dat -l /opt/synopsys/SCL/admin/license/license.log
В частности, идея такова: путь перед lmgrd не может быть пропущен, потому что при запуске Linux переменные среды не были сконфигурированы при запуске приведенного выше кода!

Создание файла взлома Sentaurus2013

Замечания:
LicGen.exe и KGen.exe загружаются в Интернет как два разных программного обеспечения, для удобства я собрал их вместе
1. Перед началом создания файла крэка в системе Linux откройте терминал и введите следующие две команды
1、ifconfig
2、hostname
3. Запишите выходные данные номера сетевой карты (eth0), выполнив команду ifconfig, например: 00: 0c: 29: a6: 30: 83 (результаты с другого компьютера)
4. Запишите вывод имени, выполнив команду hostname, например: localhost.localdomain (разные результаты для разных компьютеров)

Во-вторых, проверьте, существуют ли следующие файлы в папке Synopsys SSS Feature Keygen

1、LicGen.exe
2、LicGen.dll

3. Проверьте, существуют ли следующие файлы в папке PACKS в папке Synopsys SSS Feature Keygen

1、Synopsys.dll
2、Synopsys.lpd
3、Synopsys.src

4. Откройте LicGen.exe и выполните следующие операции.

1. Нажмите кнопку «Открыть» и выберите файл Synopsys.lpd в файле PACKS.
2. В разделе «Выберите идентификатор хоста» выберите параметр «Пользовательский», введите номер сетевой карты (eth0) в поле позади и удалите двоеточие, например: 000c29a63083.
3. Выберите параметр «Пользовательский» в разделе «Выберите идентификатор демона», введите номер сетевой карты (eth0) в поле позади и удалите двоеточие, например: 000c29a63083.
4. Нажмите кнопку «Создать»
5. Во всплывающем окне нажмите кнопку «Сохранить», чтобы сохранить и назвать файл как synopsys.dat (имя может быть другим)
6. Откройте файл synopsys.dat и замените символы «SC-201805122114» (имя компьютера Windows) после первой строки SERVER на «localhost.localdomain» (имя компьютера Linux)
7. Замените символ "!!! Path_to_snpslmd.exe" после второй строки DAEMON snpslmd на "/usr/synopsys/SCL/amd64/bin/snpslmd.exe"
Замечания: / usr / synopsys / SCL / amd64 / bin / - это путь для установки Sentaurus в системе Linux, измените его в соответствии с вашим собственным путем установки

5. Проверьте, существуют ли следующие файлы в папке Synopsys SSS Feature Keygen

1、KGen.exe
2、sssverify.exe
3. synopsys.dat (имя может быть другим, генерируемым LicGen.exe)

6. Скопируйте следующее предложение в новый текстовый файл и сохраните его, а также сохраните имя файла и имя суффикса как Creat SECRET DATA.bat

sssverify.exe synopsys.dat>> SECRET_DATA.txt
1. Запустите пакетный файл Creat SECRET DATA.bat, вы получите следующий файл SECRET_DATA.txt
2. Откройте файл SECRET_DATA.txt и найдите SECRET DATA = 0a1c 0a1c 0ec0 0000 0000 в конце файла
3. Запись 0a1c 0a1c 0ec0 0000 0000 (результаты с другого компьютера)
Примечание: вышеуказанная операция также может быть выполнена в MS-DOS (CMD), результат тот же

7. Откройте KGen.exe и выполните следующие операции

1. Введите код секретных данных в поле «SECRET_DATA», например, 0a1c 0a1c 0ec0 0000 0000
2. Введите номер сетевой карты (eth0) в поле «HOSTID», например: 000c29a63083
3. Нажмите кнопку «Создать»,
4. Проверьте, создан ли в папке файл с именем license.dat

8. Скопируйте содержимое файла license.dat в файл synopsys.dat и выполните следующие операции

1. Замените следующее содержимое (строка 3 - строка 6) в файле synopsys.dat содержимым в файле license.dat (строка 7 - строка 11)
1.1, файл Synopsys.dat заменяет следующее содержимое (строки 3 - строки 6)
3.#All features of Synopsys collected by bingled until Feb 9th,2012
4.
5.SERVER linux 112233445566 27000 #your hostname and MAC
6.VENDOR snpslmd /CAD/License/flexlm/snpslmd #your DIR
1.2. Скопируйте следующее содержимое (строка 7 - строка 11) из license.dat, чтобы заменить содержимое, подлежащее замене, в файле synopsys.dat (строка 3 - строка 6).
7.INCREMENT SSS snpslmd 1.0 31-dec-2020 uncounted 6EAD92BF73945A732B48 \
8. VENDOR_STRING="4632b b746a 85d97 583cb e754c 615b8 32c90 1ff55 \
9. e6b1e 102" HOSTID=000c29a63083 ISSUER="Synopsys Inc. [12/28/2012 \
10. 10:00:00 19688]" NOTICE="Licensed to mammoth//ZWT 2006 [PLEASE DO \
11. NOT DELETE THIS SSS KEY]" SN=RK:0:0:1 START=1-jan-2006
Девять, создание файла взлома Sentaurus завершено
1. Скопируйте файл synopsys.dat в установочный каталог Sentaurus в системе Linux (/ usr / synopsys / SCL / admin / license /)
2. Измените имя synopsys.dat на licenses.dat
Примечание. Имя файла нельзя изменить, если оно совпадает с переменной среды в системе Linux.

#**********************************************************************************************

#**********************************************************************************************
#**********************************************************************************************
Содержимое исходного файла license.dat (созданного и созданного KGen.exe)
1.#Synopsys SCL v11.4 Generated by Team ZWT 2006,updated by bingled.
2.#For EVALUATION only. If you like this software, BUY it!
3.
4.SERVER "000c29a63083" 27000
5.VENDOR snpslmd
6.USE_SERVER
7.INCREMENT SSS snpslmd 1.0 31-dec-2020 uncounted 6EAD92BF73945A732B48 \
8. VENDOR_STRING="4632b b746a 85d97 583cb e754c 615b8 32c90 1ff55 \
9. e6b1e 102" HOSTID=000c29a63083 ISSUER="Synopsys Inc. [12/28/2012 \
10. 10:00:00 19688]" NOTICE="Licensed to mammoth//ZWT 2006 [PLEASE DO \
11. NOT DELETE THIS SSS KEY]" SN=RK:0:0:1 START=1-jan-2006

#**********************************************************************************************

#**********************************************************************************************
#**********************************************************************************************
Содержимое исходного файла synopsys.dat (созданного и созданного LicGen.exe) (из-за слишком большого количества содержимого в качестве объяснения была взята только предыдущая часть)
1.SERVER SC-201805122114 000c29a63083 27000
2.DAEMON snpslmd !!!Path_to_snpslmd.exe
3.#All features of Synopsys collected by bingled until Feb 9th,2012
4.
5.SERVER linux 112233445566 27000 #your hostname and MAC
6.VENDOR snpslmd /CAD/License/flexlm/snpslmd #your DIR

#**********************************************************************************************

#**********************************************************************************************
#**********************************************************************************************
Измените содержимое имени компьютера и пути установки в файле synopsys.dat (из-за слишком большого содержимого в качестве объяснения была взята только предыдущая часть)
1.SERVER localhost.localdomain 000c29a63083 27000
2.DAEMON snpslmd /usr/synopsys/SCL/amd64/bin/snpslmd.exe
3.#All features of Synopsys collected by bingled until Feb 9th,2012
4.
5.SERVER linux 112233445566 27000 #your hostname and MAC
6.VENDOR snpslmd /CAD/License/flexlm/snpslmd #your DIR

#**********************************************************************************************

#**********************************************************************************************
#**********************************************************************************************
После изменения содержимого в файле synopsys.dat (из-за слишком большого количества содержимого в качестве объяснения была взята только предыдущая часть)
1.SERVER localhost.localdomain 000c29a63083 27000
2.DAEMON snpslmd /usr/synopsys/SCL/amd64/bin/snpslmd.exe
3.INCREMENT SSS snpslmd 1.0 31-dec-2020 uncounted 4E5D939030536E872A25 \
4. VENDOR_STRING="4632b b746a 85d97 583cb e754c 615b8 32c90 1ff55 \
5. e6b1e 102" HOSTID=000c29a63083 ISSUER="Synopsys Inc. [12/28/2012 \
6. 10:00:00 19688]" NOTICE="Licensed to mammoth//ZWT 2006 [PLEASE DO \
7. NOT DELETE THIS SSS KEY]" SN=RK:0:0:1 START=1-jan-2006

Поскольку этот учебник занял две недели, я упаковал Window7 / 10 X86_64

Пакет рабочей станции VMware можно использовать напрямую, просто номинальная плата за тяжелую работу. Если вы хотите купить его напрямую, вы можете разместить заказ в моем магазине
содержит много учебных материалов и учебных курсов, я надеюсь добиться прогресса с вами, учиться и общаться вместе.
Taobao магазин ссылка
https://item.taobao.com/item.htm?spm=0.7095261.0.0.2cae1debDkWr2I&id=581565923165

Конечно, если у вас есть какие-либо вопросы в процессе установки, пожалуйста, свяжитесь со мной QQ 752231247 или по электронной почте [e-mail]

Интеллектуальная рекомендация

BIGEMAP добавить учебник по автономной карте?

BIGEMAP добавить учебник по работе с автономными картами Введение:Оффлайн картаприменениеЭто означает, что BIGEMAP можно открывать и использовать в обычном режиме без ...

Режим начала активности

Один, стек задач Два, Стандарт Три режима мультиплексирования на вершине стека singleTop 4. Мультиплексирование верхнего режима в стеке singleTask. Пять, одноэкземплярный режим стека одной задачи...

Хозяин предпринимателя «порезал» лук-порей программисту?

Нажмите "Процессуальная жизнь", Выберите" Top Public Account " Первый раз, чтобы обратить внимание на историю вокруг программиста обезьян (юань) Если вам нужно перепечатать, пожалу...

Sinopsis: Sentaurus TCAD yordamida hisoblash modellashtirish

1. Hisoblash muhiti.
1.1. Linuxda Sentaurus.
Synopsys-dan Sentaurus TCAD - ilg'or tijorat hisoblash muhiti, elektron qurilmalarni modellashtirish uchun asboblar to'plami. Sentaurus Windows va Linuxda ishlashi mumkin. Kim Windows-dan jiddiy ish uchun foydalanadi? Bir marta o'zlashtirilgan Linux muammolarni samarali hal qilishning 10 000 barobar ko'proq usullarini taklif qiladi.

1.2. Perl

Sentaurus TCAD da ommaviy rejimda ishlash mumkin. Biroq, men o'zim uchun Perl skriptlaridan partiyalarni qayta ishlashni boshqarish va hisob-kitoblar parametrlarini o'zgartirish uchun foydalanishni qulayroq deb bilaman. Nega? Xo'sh, chunki men Perl ni bilaman. Bu juda moslashuvchan dasturlash tili bo'lib, ayniqsa matnli fayllar ustida ishlash uchun mos keladi. Va men GUI interfeysidan foydalanish uchun emas, balki terminal oynasidan ishlashga ko'proq moyilman. Ishonchim komilki, bu jiddiy hisob-kitoblarga nisbatan ancha samarali yondashuv.

Bundan tashqari, Perl matnli ma'lumotlar fayllari bilan manipulyatsiya qilish kerak bo'lganda juda yaxshi.

1.3. TCL
Tcl (Tool Command Language) juda kuchli, ammo oʻrganish oson dinamik dasturlash tili boʻlib, juda keng koʻlamli foydalanish, jumladan, veb va ish stoli ilovalari, tarmoq, maʼmuriyat, test va boshqa koʻplab dasturlar uchun mos keladi. Ochiq manbali va biznes uchun qulay bo'lgan Tcl - bu etuk, ammo rivojlanayotgan til bo'lib, u haqiqatan ham o'zaro platformalardir, osongina joylashtiriladi va juda kengaytiriladi.

Sentaurus TCAD TCL bilan birgalikda foydalanish uchun mo'ljallangan kutubxonalarni o'z ichiga oladi. Ular tdx interfeysi orqali ishlaydi va TDR fayllaridan ma'lumotlarni manipulyatsiya qilish (chiqarish) uchun ishlatiladi.

1.4. Nedit
Matnli ma'lumotlar fayllari bilan ishlashda juda muhim nuqta - matn muharririni to'g'ri tanlash. NEdit - bu X Window System uchun ko'p maqsadli, engil matn muharriri bo'lib, u standart, ishlatish uchun qulay, grafik foydalanuvchi interfeysini kuniga sakkiz soat matnni tahrir qiladigan foydalanuvchilar talab qiladigan puxta funksionallik va barqarorlik bilan birlashtiradi. Uning o'ziga xos cheklovlari bor. Ammo bu ma'lumotlarni tahrirlash uchun juda yaxshi (muntazam iboralardan foydalanish, tugmalarni bosish, makroslardan foydalanish, matn ustunlariga nusxa ko'chirish/qo'yish/qidirish/almashtirish, faqat satrlarga emas, balki bir nechta ajoyib xususiyatlarga misol bo'la oladi).

Ma'lumotlar fayllari emas, balki boshqa matnli fayllar bilan ishlaganda, masalan, men UTF-8 belgilaridan foydalanishim kerak bo'lganda (bu tez-tez sodir bo'ladi, chunki men Rossiyadaman va tez-tez kirill alifbosini ishlatishim kerak, shuningdek, men polyakman, shuning uchun menga vaqt kerak bo'ladi. Polsha diakritiklaridan foydalanib yozish uchun), masalan, men LaTeX nashrini yozishim kerak bo'lganda - Linuxda gedit buning uchun juda yaxshi.

1.5. Gnuplot
LaTeX-da foydalanish uchun qulay bo'lgan Encapsulated Postscript raqamlari Gnuplot tomonidan oson yaratilishi mumkin.

Gnuplot - bu Linux, OS/2, MS Windows, OSX, VMS va boshqa ko'plab platformalar uchun portativ buyruq qatori yordamida boshqariladigan grafik yordam dasturi. Manba kodi mualliflik huquqi bilan himoyalangan, lekin erkin tarqatiladi (ya'ni, buning uchun pul to'lashingiz shart emas). U dastlab olimlar va talabalarga matematik funktsiyalar va ma'lumotlarni interaktiv tarzda vizualizatsiya qilish imkonini berish uchun yaratilgan, ammo veb-skript kabi ko'plab interaktiv bo'lmagan foydalanishni qo'llab-quvvatlash uchun o'sdi. Bundan tashqari, Octave kabi uchinchi tomon ilovalari tomonidan chizma mexanizmi sifatida ishlatiladi. Gnuplot 1986 yildan beri qo'llab-quvvatlanadi va faol rivojlanmoqda.

Gnuplot 2D va 3D formatidagi ko'plab turdagi syujetlarni qo'llab-quvvatlaydi. U chiziqlar, nuqtalar, qutilar, konturlar, vektor maydonlari, sirtlar va turli xil bog'langan matnlar yordamida chizish mumkin. Shuningdek, u turli xil ixtisoslashtirilgan uchastka turlarini qo'llab-quvvatlaydi.

Gnuplot juda ko'p har xil turdagi chiqishlarni qo'llab-quvvatlaydi: interaktiv ekran terminallari (sichqoncha va tezkor tugmalar kiritish bilan), qalam plotterlari yoki zamonaviy printerlarga to'g'ridan-to'g'ri chiqish va ko'plab fayl formatlariga (eps, fig, jpeg, LaTeX, metafont, pbm, pdf, png , postscript, svg, ...). Gnuplot yangi chiqish rejimlarini kiritish uchun osongina kengaytiriladi. So'nggi qo'shimchalar orasida wxWidgetlar asosidagi interaktiv terminal va HTML5 kanvas elementi yordamida veb-displey uchun mousable grafiklarni yaratish kiradi.

Gnuplot-ning yoqimli xususiyati shundaki, siz yaratgan har bir raqam uchun gnuplot tomonidan qo'llaniladigan skript tilini oddiy matn faylida saqlashingiz va ushbu faylni gnuplot terminal oynasidan ishga tushirishingiz mumkin. Shunday qilib, keyinchalik chizma parametrlarini o'zgartirish oson.

Gnuplot shuningdek, oddiy hisob-kitoblarni amalga oshirishga imkon beradi. Va juda qulay bo'lgan narsa, ommaviy ishlov berishdan foydalangan holda, avtomatik tarzda katta ma'lumotlar to'plamiga murakkab ma'lumotlarni moslashtirishni amalga oshirish.

Perl skriptlari ichidan Gnuplotni ishga tushirish ham mumkin. Bu juda kuchli kombinatsiya!

1.6. Grep

Grep Linuxda mavjud bo'lgan matnli fayllar (ma'lumotlar fayllari yoki Sentaurus jurnali fayllari) bilan ishlash uchun juda mos bo'lgan ko'plab misol vositalaridan biridir. Boshqa misollar bo'lishi mumkin: bash, sort, ls, find va boshqalar.

1.7. LaTeX

LaTeX atamasi ushbu hujjatlarni yozishda foydalanilgan muharrirni emas, balki faqat hujjatlar yozilgan tilni anglatadi. LaTeX dan matematiklar, olimlar, muhandislar, faylasuflar, huquqshunoslar, tilshunoslar, iqtisodchilar, tadqiqotchilar va akademiyadagi boshqa olimlar eng keng tarqalgan. Bu