Metall oksidlarining silikat shishaga diffuziyasi

RUTENIY OKSIDINING QO‘RG‘OSHIN-SILIKAT SHISHADA DIFFUZIYASINI O‘RGANISH

Dexqonov A., Abduraxmanov G.

O‘zbekiston Milliy universiteti fizika fakulteti

[e-mail]

Legirlangan qo‘rg‘oshin-silikat shisha (LSSH) qalin qatlamli
rezistorlar, fizikaviy va kimyoviy ta’sirlar datchiklari hamda elektr isitgichlar sifatida uzoq yillar davomida keng qo‘llanib kelayotganiga qaramasdan, undagi elektron jarayonlar, xususan elektr o‘tkazuvchanligi mexanizmi haqida bahs hamon davom etmoqda [1].Bu bahsning asosiy mazmuni -shisha va ligatura (asosan RuO2) kukunlari aralashmasi 850°S da 10 minut davomida pishirilganda shishaning o‘zining elektr o‘tkazuvchanligi o‘zgaradimi yoki LSSH ning nisbatan yuqori o‘tkazuvchanligi deyarli metall o‘tkazuvchanlikka ega ligaturaning xossalaridan kelib chiqqanmi, - degan savol bilan ifodalanishi mumkin.

Bu savolga javob topish uchun bir necha tadqiqot guruhlari maxsus tajribalar o‘tkazdi. Elektron zondli mikroanalizator yordamida aniqlandi-ki [2], pishirish jarayonida ruteniy atomlari shisha ichiga bir necha mikron masofaga kirar ekan. Ammo bu natijalar xuddi shu namunalarda elektron zond yordamida tarkibi aniqlangan (yoki unga yaqin) nuqtalarda solishtirma qarshilikni o‘lchash orqali tasdiqlanishi haqida ma’lumotlar yo‘q.

Shunga ko‘ra biz maxsus tayyorlangan LSSH namunalarida ruteniy atomlari va solishtirma qarshilikning taqsimlanishini tajribada aniqlashni maqsad qildik.

Tajribaning mohiyati 1- va 2-rasmlarda ko‘rsatilgan. Turli tarkibli

shishalardan tayyorlangan va yonlari tekis silliqlangan paralelepiped shaklidagi namunalarning (taglik, oq rangda) bir yoniga RuO2 ning yupqa
qatlami (qora qatlam) suriladi va pishiriladi. Keyin namunaning shu qirrasida kichik (α = 1° atrofida) burchak ostida shlif hosil qilinadi va shlif yo‘nalishi bo‘ylab turli nuqtalarda to‘rt zondli qurilma yordamida solishtirma qarshiligi o‘lchanadi. Zondlarning harakat yo‘nalishi strelkalar bilan ko‘rsatilgan.

1-rasm. LSSH da solishtirma qarshilik taqsimlanishini to‘rt zondli qurilma bilan aniqlash

Ikkinchi tajribada esa xuddi shu namunalarda ruteniy atomlarining shlif bo‘ylab (oldingi tajribadagi zondlar harakati yo‘nalishida) taqsimlanishi elektron zondli mikroanalizator yordamida aniqlanadi.

Bu ikkala tajriba natijalarini taqqoslash ligatura atomlarining

shishaga diffuziyasi oqibatida shishaning solishtirma qarshiligi o‘zgaradimi yoki yo‘qmi ekanligini hamda diffuziya jarayonining qonuniyatlarini aniqlash imkonini beradi.

2-rasm. LSSH da ligatura atomlari taqsimlanishini elektron zondli

mikroanalizator yordamida aniqlash. e^- - tushayotgan elektronlar oqimi, e^- vektor

- namunadan sochilgan elektronlar oqimi.