I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar

Fotoshablonlar va ularni tayyorlash. 
Fotoshablon  (FSh)  fotolitografiya  jarayonining  asosini  tashkil  qilib,  uning 
yordamida FR qatlamini mikrosxema topologiyasiga mos holda lokal yoritiladi.  
FSh - ultra binafsha nurni  yaxshi o‘tkazuvchi ishchi yuzasiga mikrosxemaning 
ma‘lum  bir  qatlami  topologiyasiga  mos  keluvchi  (yorug‘likni  o‘tkazmaydigan) 
rasmni  qatlamda  hosil  qilingan  tekis  shisha  plastinka  yoki  egiluvchan  polimer 
qatlamdir.  FShni  tayyorlash  uchun  optik  borosilikat  shishasi    yoki  polimer  qatlami 
ishlatiladi. 

---

 
146 
Qatlamli rasm hosil qilish uchun kumush-galoidli fotoemulsiyadan foydalanilsa 
metall  FSh  deyiladi  va  ko‘rinuvchi  yorug‘likni  qisman  o‘tkazuvchi  oksidlar  yoki 
boshqa materiallarning qatlamini foydalanilsa rangli FSh lar deyiladi. 
FSh  larni    yarim  o‘tkazgich  plastinkasiga  tez-  tez  jipslashtirish  natijasida  u 
yediriladi. Emulsion FSh lar 20 ta operatsiyaga metall FSh lar esa 500 ta operatsiyaga 
yaraydi. 
FSh  tayyorlashning  bir  qancha  usullari  mavjud.  Optik  mexanik  usul  bilan  FSh 
tayyorlash  uchun  oreginal  rasmni  100-1000  marta  kattalashtirib  yorug‘lik 
o‘tkazmaydigan lak surilgan oynaga chiziladi. Lakni kesish uchun olmosli yoki karbit 
volframli  keskichdan  foydalaniladi.  Original  rasm  o‘tuvchi  yorug‘likda  (tiniqlikni 
oshirish  uchun)  50÷100  marta  kichraytirib  fotoplastinkada  rasmga  olinadi.  Hosil 
qilingan  foto  oreginal  avtomat  proyeksiyali  fotoshtampga  joylashtiriladi  va  foto 
originaldagi  rasm  kerakli  o‘lchamgacha  kichraytirilgan  holda  foto  shablonga 
tushiriladi  va  ko‘paytriladi  (  multurlikatsiyalanadi).  Hosil  qilingan  etalon  FSh  ning 
ishchi nusxasini kontaktli qayta  chiqarish orqali tayyorlanadi. Etalon FSh dan 20-30 
ta nusxa ishchi FSh tayyorlash mumkin.  
Emulsiyali  etalon    FSh  dan  nusxa  tayyorlash  uchun  optik  shishaga  xrom 
qatlamini vakuumda uchirib hosil qilinadi (qalinligi ~1mkm), FR suriladi va kontaktli 
pechat qilinadi (jipslashtirib yoritiladi). Eksponirlab va ochirilgandan so‘ng kislotada 
xrom yemiriladi.Tayyor bo‘lgan FSh mustahkamligini oshirish uchun 100-150
0
C  da 
bir  necha  soat  qizdiriladi,  bunda  xrom  qatlamining  shishaga  adgeziyasi 
(yopishqoqligi) ortadi.