I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar

 
9.11  § Nam kislorodli muhitda kremniyni qizdirib oksidlash 
 
Bu  usul  quruq  kislorod  va  suv  bug'i  muhitida  qizdirib  oksidlashning  oraliq 
holatidir.  
 
Quritilgan  va  kirishmalardan tozalangan O
2
  suv orqali o‘tkazilganda issiq suv 
bug‘lari bilan to‘yinadi va uni ishchi kameraga yuboriladi. Kislorod gazi tarkibidagi 
namlik miqdori suvning harorati va gaz oqimining tezligiga, kremniy plastinkasining 
sirtini oksidlanish tezligi esa gaz tarkibidagi namlik miqdoriga bog‘liq bo‘ladi. 
Oksidlanish jarayonini sekinlatish uchun kislorod o‘rniga argon yoki azot gaz 
oqimidan foydalanish mumkin (suvning harorati xona haroratida bo‘lishi kerak). 
Oksidlanishni faollashishi energiyasi quruq kislorodda 1,3 eV bo‘lib, suv bug‘ida 0,8 
eV ga teng. Nam kislorodda namlik miqdori ortishi bilan bu energiya 1,3 eV dan to 
0,8 eV gacha kamayib boradi. 
Sanoatda oksidlashning uch bosqichli usuli qo‘llaniladi: 
-birinchi bosqichda quruq kislorodda 
-ikkinchi bosqichda nam kislorod yoki suv bug‘ida  
-uchunchi bosqich quruq kislorodda 
Bu  usulning  afzalligi  1-bosqichda  mufassal  strukturali  yupqa  oksid  qatlam 
o‘stiriladi, 2-bosqichda oksid qatlamning o‘sish tezligi oshiriladi va 3-bosqichda yana 
oksid qatlam yuzasi mufassal strukturali bo‘lishiga erishiladi. 
Termik  qizdirish  usuli  bilan  1-1,5  mkm  qalinlikgacha  oksid  qatlam  o‘stirish 
imkoni mavjud. 
Planar  texnologiyada  himoyalovchi  maska  sifatida  qo‘llaniladigan  oksid 
qatlam  qalinligi  0,2-0,8  mkm  bo‘ladi.  Oksid  qatlamni  0,8  mkm  dan  qalin  olish,  uni 
lokal emirganda hosil bo‘ladigan yon tomonlarga yemirilishi (klin) kattalashib ketib, 

---

 
153 
FL  da  kerakli  o‘lchamdagi  shaklni  hosil  qilishda  aniqligi  kamayadi.Oksid  qatlam 
qalinligi 0,2 mkm dan kam bo‘lsa undagi kovakliklardan kirishma atomlarining o‘tib 
ketish ehtimolligi ortadi.