I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar

 
Kremniy nitrat qatlamini kimyoviy o’stirish texnologiyasi 
 
Kremniy  nitrat  Si
3
N
4
qatlamini  kremniy  ikki  oksidi  qatlamini  SiO
2
  ga  nisbatan 
kirishma  atomlarining  diffuziyalanishiga  kamroq  to‘siq  ko‘rsatadi.  Shuning  uchun 
to‘siq  sifatida  foydalanishda  Si
3
N
4 
qatlamini  SiO
2 
ga  nisbatan  yupqaroq  olish 
mumkin.  Bu  esa,  fotolitografiya  jarayonining  ajratish  qobiliyatini  oshirish 
imkoniyatini beradi. 

---

 
154 
 Si
3
N
4
qatlamini kimyoviy o‘stirishning bir qancha usullari mavjud: 
Kremniyning azot bilan ta’sirlanish reaksiyasi 
Kremniy bilan azotni  ta‘sirlanish reaksiyasi 1100-1300 
0
C da amalga oshadi: bunda        
3Si  + 2N
2    
→
  
Si
3
N
4.
  reaksiyasi sodir bo‘ladi  Si
3
N
4
qatlamini  ochiq truba usuli bilan 
olinishi  mumkin.  Ishchi  kameraga  Si  platsinkasi  o‘rnatiladi  va  truba  orqali  azot  gaz 
oqimi  o‘tkaziladi.  T=1200 
0
C  va  azot  gaz  oqimi  300  sm
3
/  min  bo‘lganda  kremniy 
platsinkasi yuzasida Si
3
N
4
qatlam hosil bo‘ladi.