I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar

 
 
            9.8 rasm  
 
9.8  § Fotolitografiya. 
 
Fotolitografiya (FL) ning asosi yarim o‘tkazgichli plastinka sirtiga yupqa qatlam 
yorug‘lik  sezgir  lak  -  fotorezis  (FR)  suriladi.  FR  qatlami  quritilgandan  so‘ng 
plastinka  ustiga  fotoshablon (FSh)  (plastinkaga  ko‘chirish  kerak  bo‘lgan  rasm  hosil 
qilingan shisha fotoplastinka) qo‘yiladi. FR surilgan yarim o‘tkazgichli plastinkaning 
ustiga  FSh  qo‘yib  yoritilsa  (binafsha,  ultrabinafsha  nur  bilan),  FR  ning  yorug‘lik 
tushgan sohalari: 
-  negativ  FRlarda  ochiltiruvchi  (proyavitel)da  erimaydigan  bo‘lib  qoladi, 
yoritilmagan sohalari erib ketadi; 
-  pozitiv  FR  larda  esa  yoritilgan  sohalari  eruvchan  tuzga  aylanadi  va 
ochiltiruvchida erib ketadi, yoritilmagan sohalari erimaydi. 
FR  qatlamida  hosil  bo‘lgan  darchalar  orqali  yarim  o‘tkazgichli  plastinka  yoki 
qatlamkimyoviy yemiriladi.