I bob qattiq jismlar 1-§. Qattiq jismlarning fizikasida asosiy tushunchalar


Kontaktli eksponerlash (yoritish)



Download 5,36 Mb.
Pdf ko'rish
bet145/225
Sana03.07.2021
Hajmi5,36 Mb.
#108758
1   ...   141   142   143   144   145   146   147   148   ...   225
Bog'liq
Яримўтказгичлар физикаси Бадирханов

Kontaktli eksponerlash (yoritish) 
Integral sxema (IS) larni yaratish jarayonida fotolitografiya jarayoni bir necha 
marta takrorlanadi. Ikkinchi fotolitografiyadan boshlab FSh dagi rasm bilan 1-FL da 
yarim  o‘tkazgichli  plastinka-taglikda  hosil  qilingan  rasmni  moslashtirish  zarur 
bo‘ladi.  Moslashtirishni  eksponirlashni  amalga  oshiruvchi  qurilmada  mikroskopda 
kuzatib  turib  oldingi  fotolitografiyada  yarim  o‘tkazgichli  plastinkada  hosil  qilingan 
rasm  bilan  FSh  dagi  rasm  FSh  ni  X  va  Y  o‘qlari  bo‘yicha  siljitish  orqali 
moslashtiriladi. 


 
148 

Download 5,36 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   141   142   143   144   145   146   147   148   ...   225




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish