Влияние режимов ионно-плазменного напыления на структуру и свойства износостойких покрытий

1,05 
1,07 
1,14 
1,17 
Рис. 3.14 График зависимости размеров кластерных образований от толщины покры-
тия молибдена 

---

91 
Таблица 3.5 - Размеры кластерных образований от мощности (100,125,
150 ВТ) напыления с толщиной покрытия 38 и 173 нм 
Мощность напы-
ления, Вт 
Толщина покрытия Мо на резиновой подложке, нм 
38 
173 
Размер кластерных образований, мкм 
100 
1,55 
0,68 
1,54 
1,26 
1,04 
0,84 
0,56 
1,00 
1,22 
1,10 
1,44 
1,16 
1,65 
1,20 
1,31 
1,20 
1,35 
1,01 
1,56 
0,56 
0,96 
1,20 
0,92 
1,11 
0,68 
0,50 
0,83 
0,9 
1,85 
1,36 
1,08 
1,12 
0,92 
среднее значение 
1,05 
1,17 
125 
0,55 
0,41 
0,68 
1,0 
1,42 
0,76 
0,88 
0,44 
0,90 
0,72 
1,40 
0,95 
0,35 
0,80 
1,00 
0,56 
1,50 
0,85 
0,73 
0,52 
1,68 
среднее значение 
0,67 
1,03 
150 
0,68 
0,90 
0,55 
0,75 
0,53 
0,58 
0,76 
0,65 
0,67 
0,78 
0,70 
0,68 
0,87 
0,92 
0,64 
0,83 
1,10 
среднее значение 
0,71 
0,75 
 
Рис. 3.15 График зависимости размеров кластерных образований от мощности ионно-
плазменного напыления, толщина покрытия 38 и 173 нм 
С увеличением мощности излучения ионов с мишени на резиновую под-
ложку происходит обратный эффект, рост кластеров в размере уменьшился. 

---

92 
Происходит более равномерное распределение ионов на поверхности резины и 
менее значительный рост кластеров, точнее происходит рост количества более 
мелких кластеров. Этот эффект наблюдался как при толщине покрытия 38 нм, 
так и при толщине 173 нм.