Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

ОДНОВРЕМЕННАЯ ДИФФУЗИЯ ГАЛЛИЙ И
ФОСФОРА

В КРЕМНИИ
 
Н.Ф. Зикриллаев
1
, А.Б.Камалов
2
, Х.С.
Турекеев
1
, М.Д.Генжемуратов
1
 
1
Ташкентский государственный технический университет 
2
Нукусский государственный педагогический институт 
E-mail: 
[e-mail]  
Формирование бинарных элементарных ячеек с участием атомов III и V 
групп в решетке кремния представляет большой научный и практический 
интерес. Так как взаимодействие двух различных примесей в решетке может
изменить его фундаментальные параметры, это приводит расширению
возможностей кремниевых кристаллов. Целью данной работы являлась 

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
215 
изучение взаимодействия атомов фосфора (P) и галлия (Ga) в кремнии при 
одновременной диффузии этих примесей. В эксперименте в качестве 
исходного материала был использован монокристаллический кремний КДБ-
10 (
N
B 
~2·10
15
cm
-3
) и КЭФ-1 (
N
P 
~5·10
15
cm
-3
) с содержанием кислорода 
N
O2
≈(5÷6)·10
17
cm
-3
и плотностью дислокаций 
N
D 
~10
3
cm
-2
. Размер образцов 
составлял 
V
~ 1×5×10 mm
3
. 
Диффузант получен путем превращения кристалла галлий фосфида в 
порошок. После необходимых механических и химических обработок 
образцов, проводилась диффузия путем газовый фазе из порошка галлий 
фосфида при 
Т
=1250 °С в течение 2 часов. При этом одновременно 
диффундировали фосфора из нанесенного слоя фосфорнокислого аммония на 
воздухе при 
Т
=1250 °С в течение 
t
=2 часов, чтобы определить изменение 
концентрационного распределения фосфора в кремнии. Концентрационное 
распределение снималось с помощью метода Ван-дер-Пау послойным 
снятием слоя по 1 мкм методом химического травления. На рис. 1 
представлено изображение поверхности после диффузии полученное на
сканирующем электронном микроскопе (СЭМ), и поверхностный 
элементный состав, полученный в режиме рентген-спектрального анализа. 
Рис. 1. Измерения СЭМ после диффузии галлий фосфида в кремнии.