Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Тадқиқот усули:
бошланғич материал сифатида p типли 
ўтказувчанликга эга, солиштирма қаршилиги
ρ
= 3 ом · см, кислород 
консентрацияси N
02
=4·10
17
см
-3
бўлган кремний танлаб олинди. Марганец 
диффузияси t=5÷20 дақиқа давомида ва Т=1150÷1170 ˚C ҳарорат оралиғида 
хавоси сўриб олинган ампулаларда амалга оширилди. Диффузиядан сўнг 
намуналар мойда 300 ˚C/c тезлик билан совитилди. Бундан ташқари 
намуналар механик ишловдан сўнг кимёвий ишлов бериш (HCl ва HF) йўли 
билан тозаланди [7]. 
Олинган 
намунанинг 
электрофизик 
параметрларига 
турли 
ҳароратларда босим таъсирини ўрганиш учун махсус қурилма яратилди. 
Қурилма хона ҳароратидан 150 ˚C гача бўлган ҳарорат оралиғида тадқиқот 
қилиш имконини беради. Босим механик усулда учли зонд ёрдамида амалга 
оширилади. 
Тажриба натижалари:
Тажрибалар 5,16·10
5
Па дан 7,74·10
7
Па гача 
босим таъсири ва 30 ˚C, 40 ˚C, 50 ˚C, 70 ˚C ҳароратларда ўрганилди. Ўлчаш 
вақтида намуналардаги кучланиш тушиши Е = 10 В ни ташкил етди. 
1-жадвалда турли ҳароратларда, ёруғлик бўлмаганда қўлланиладиган 
босим қийматига қараб токнинг нисбий ўзгариши келтирилган. Кўриниб 
турганидек, босим 5·10
5
Па дан 7·10
7
Па оралиғида бўлганда, оддий 
кремнийдан фарқли ўлароқ марганец атомлари нанокластерлари ҳосил 
қилинган [8] намуналарда босим сезувчанлик жуда юқори ўзгаради. Бу шуни 

---

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
218 
кўрсатадики, нанокластерлар мавжуд бўлса намуналарнинг тензо сезгирлиги 
сезиларли даражада ошади. 
Жадвал 1 
Ёритмасдан 
 
30 ˚C
40 ˚C 
50 ˚C 
70 ˚C 
P, [Па] 
I/I
0
I/I
0
I/I
0
I/I
0
5,16·10
5
1 
1 
1 
1 
1,29·10
7
3,16 
4,06 
6,56 
8 
2,58·10
7
3,44 
4,8 
8,33 
10,16 
3,87·10
7
3,55 
5,14 
9,21 
11,33 
5,16·10
7
3,62 
5,39 
9,83 
12,62 
6,45·10
7
3,7 
5,59 
10,53 
13,7 
7,74·10
7
3,75 
5,75 
11,13 
14,62 
10
6
10
7
10
8
0
50
100
150
200
250
300
I/I
0
, [%]
P, [Pa]