Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
196 
Таблица 1
 
№ 
Исходный 
материал 
Тип 
проводимости
Температура 
диффузия, 
°
С 
ρ,
(Ом·см) 
µ,
(В·с/см
2
) 
n, p
(см
-3
) 
1 КДБ-3 
p 
1056 
7,92·10
2
330,2 
2,39·10
13
2 КДБ-3 
p 
1060 
5,5·10
3
120,7 
2,49·10
12
3 КДБ-3 
p 
1063 
5,64·10
4
224,9 
2,03·10
11
4 КДБ-3 
p 
1068 
1,53·10
5
234,8 
1,74·10
11
Для исследования одновременного воздействия температуры и давления 
на образец кремния была разработана специальная установка, позволяющая 
нагревать образец равномерно от комнатной температуры до 200 
°
С и 
создавать поперечную локальную деформацию до 5·10
8
Па, при 
регулируемой интенсивности фонового освещения в интервале 
I 
= 0…15000 
люкс. Локальная деформация создавалась при помощи давления на образец 
металлическим острием зонда диаметром d ~ 100 мкм. Установка позволяла 
исследовать тензосвойств образцов с дискретностью шага давления 1,41·10
5
Па. 
На (
рис. 1)
приставлено изменение ρ исследуемых образцов от давления 
при различных температурах. Установлено что с ростом температуры 
тензочувствительность образцов растет. Этот процесс продолжается до 
T
= 
70…75 
°
С, дальнейшее повышение температуры приводит к ухудшению 
тензочувствительности 
образцов. 
Изменение 
тензочувствительности 
образцов 
α
от температуры приведено на (
рис. 2)
. 
10
6
10
7
0,0
0,2
0,4
0,6
0,8
1,0

/

0
P
, Pa
1
2
3
4
30
40
50
60
70
20
25
30
35
40
45
50


Pa
T
, oC
Рис. 1. Относительное изменение удельное 
сопротивление (
ρ 
= 5,5·10
3
Ом·см) образцов 
кремния с нанокластерами под действием 
давления при различных температурах: 
1
– 
30 
°
С, 
2
– 40 
°
С, 
3
– 50 
°
С, 
4
– 70 
°
С. 
Рис. 2.
 
Изменение температурного 
коэффициента тензочувствительности 
образцов 
α
от температуры. 
Полученные экспериментальные результаты показывают не только 
возможность использования тензодатчиков в широком интервале температур, 
но и одновременно их высокую температурную чувствительность при 
наличии давления, повышающуюся при увеличении температуры. 

---