Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani



Download 16,58 Mb.
Pdf ko'rish
bet144/570
Sana16.06.2022
Hajmi16,58 Mb.
#677720
1   ...   140   141   142   143   144   145   146   147   ...   570
Bog'liq
ТГТУ II-межд конф Хайдаров Элтазаров Эргашев Абдукаримов Курбонов Турсунов Гаибназаров Курбонов Алимова


Tursunov M.O.

Ismailov K.А., Ismaylov B.K
. Formation of 
complexes consisting of impurity Mn atoms and group VI elements in the crystal 
lattice of silicon // Semiconductor Physics, Quantum Electronics & 
Optoelectronics – Ukraine, 2021. – Vol. 24. – No 3. – Pp. 255-260. 
8. 
Glushko V.P.
Thermodynamic Constant for Materials // 1974. Issue. 7 Pt 1, 
Nauka, Moscow (in Russian).


Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
158 
ОБ ОСОБЕННОСТЯХ ОБРАЗОВАНИЯ РАДИАЦИОННЫХ 
ДЕФЕКТОВ В ДИОДНЫХ СТРУКТУРАХ С ПРИМЕСЯМИ 
ПЕРЕХОДНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ 
Утамурадова Ш.Б., Хамдамов Ж.Ж., Равшанов Й.Р., Утениязова А.Б.,
Файзуллаев К.М., Рахманов Д.А. 
Научно-исследовательский институт физики полупроводников и 
микроэлектроники Национального университета Узбекистана, 
г. Ташкент, 100057, Республика Узбекистан 
E-mail: sh-utamuradova@yandex.ru
 
Вопросы дефектообразования в кремнии являются одной из актуальной 
проблем полупроводникового материаловедения и микроэлектроники, 
поскольку процесс изготовления практически любого полупроводникового 
прибора включает различные циклы термообработок. Для модификации 
свойств кремния (повышения фоточувствительности, тензочувствительности, 
изменения удельного сопротивления и т.д.) его легируют различными 
примесями, подвергают воздействию ионизирующего излучения, что в 
конечном итоге приводит к образованию разного рода дефектов. 
Известно, что имеется значительная разница между полной 
концентрацией введенных примесей переходных элементов (ПЭ) в кремнии и 
электроактивной частью их атомов. При этом большая часть введенной 
примеси электрически нейтральна и в тоже время ее наличие оказывает 
существенное влияние на процессы термического и радиационного 
дефектообразования, в конечном итоге на электрические свойства 
легированного кремния [1-2]. Однако в литературе нет однозначного мнения 
о соотношении полной растворимости и электрической активности примесей 
ПЭ и их взаимодействии с термическими (ТД) и радиационными дефектами 
(РД), а также с другими примесями в кремнии.
Механизм влияния атомов примеси переходных элементов на процессы 
термического и радиационного дефектообразования весьма сложен. Но все 
имеющиеся данные носят несколько разрозненный и противоречивый 
характер. 
В данной работе приводятся результаты комплексных исследований 
процессов дефектообразования в кремнии, легированном переходными 
элементами. В качестве исследуемых образцов использовался n-Si, 
легированный кобальтом и хромом, контрольными образцами служили 
образцы, выращенные из n-Si с идентичными электрическими параметрами. 
Из измерений спектров нестационарной емкостной спектроскопии 
глубоких уровней (DLTS) и фотоемкости (ФЕ) образцов n-Si<Сo> и n-



Download 16,58 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   140   141   142   143   144   145   146   147   ...   570




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish