Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar II xalqaro ilmiy anjumani

Fotoenergetikada nanostrukturali yarimo‘tkazgich materiallar

II xalqaro ilmiy anjumani 
 
19-20 noyabr 2021 yil 
326 
нанокластерами атомов марганца// МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, 2012, том 41, № 
6, с. 433–435. 
3.
Аюпов К.С., Бахадырханов М.К., Илиев Х.М., Мавлонов Г.Х., Тачилин 
С.А. Многофункциональный датчик физических величин на основе кремния 
с наноструктурами атомов марганца // Приборы, 2017. №4, С.7-10.
4.
Астров Ю.А., Lynch S.A., Шуман В.Б., Порцель Л.М., Махова А.А., 
Лодыгин А.Н. Кремний с повышенным содержанием одноатомных центров 
серы: получение и оптическая спектроскопия // Физика и техника 
полупроводников, 2013, том 47, вып. 2.с.211-215. 
5.
Астров Ю.А., Козлов В.А., Лодыгин А.Н., Порцель Л.М., Шуман В.Б., 
Gurevich E.L., Hergenroder R.. Перераспределение глубоких примесей селена 
и серы в кремнии при легировании поверхности фосфором. ФТП, 43, 739 
(2009). 
6.
М.К.Бахадырханов, 
Н.Ф.Зикриллаев, 
К.С.Аюпов. 
Оптимальные 
условия легирования для получения кремния с собственной проводимости // 
ПРИБОРЫ. 2018. № 11. (211). С.40-42. 
7.
М.К. Бахадирханов, С.Б. Исамов, Б.К. Исмайлов. Безэрозионная 
технология легирования кремния серойи повышение концентрации ее 
электроактивных атомов // ПРИБОРЫ. 2019. № 4 (226). С.26-28. 
GALLIY VA SURMA ATOMLARI BILAN KETMA-KET
LEGIRLANGAN KREMNIYNING OPTIK XOSSALARI 
 
X. M. Iliyev, B. O. Isakov, Sh. I. Hamroqulov,
Sh. Subxonberdiyev, M. X. Madjitov. 
Toshkent davlat texnika universiteti, O’zbekiston Respublikasi,
Toshkent sh. Universitet ko’chasi 2-uy, [e-mail] 
Mikroelektronikaning rivojlanishida kremniyga kirishma atomlarining diffuziyasi 
katta rol o’ynagan [1-3]. Hozirgi vaqtga kelib diffuziya usuli bilan kremniyda 
kirishma atomlarining nanoklasterlari olinib, ular ta’sirida bir qancha yangi fizik 
xodisalar ham kashf qilindi [4-7].
Biroq bir vaqtning o’zida turli xil kirishma atomlarini kremniyga kiritilganda 
uning xossalarida bo’ladigan o’zgarishlar yetarlicha o’rganilmagan. Xususan Ga va 
Sb atomlarini binar birikma ko’rinishida kremniy asosiy parametrlariga ta’sirini 
o’rganish ham ilmiy ham amaliy ahamiyatga ega. Ushbu ishda Ga va Sb atomlarini 
ketma-ket diffuziya qilish bilan olingan namunalarning optik xossalari (Furye 
infraqizil 
spektrometri 
ФСМ-1202 spektrning infraqizil diapozonidagi 
yutilishlarini) o’rganildi.

---