Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni

 
252 
STUDY OF THE ELECTRONIC STRUCTUREOF THE 
𝑴𝒐𝑶
𝟑
/
𝑴𝑶 NANOFILMS. 
G.X. Allayarova, D.A. Tashmukhamedova, B.E.Umirzakov.
Tashkent State Technical University named after Islam Karimov.
100095 Tashkent,Uzbekistan.e-mail: 
[e-mail] 
𝑀𝑜𝑂
3
nanofilm is widely used in various fields of electrical engineering. For example, new types 
of displays, light filters, sensors, photo converters and organic solar elements. It was formed by thermal 
oxidation of 
𝑀𝑜𝑂
3
nanoparticle and by ion implantation methods. Currently, the optical, emission and 
electrophysical properties of the Mooxide film are widely studied to vary with photons electrons and 
ions. However, to date there is no complete information on the composition, morphology, crystal and 
electron structure and physical properties of molybdenum oxide nanoparticles formed on the surface 
of 
𝑀𝑜. In this work, we investigated the composition of the 𝑀𝑜𝑂
3
nanofilms, the energy zone 
parameters, and the density of valence electrons by implanting oxygen ions. 
As a target we received single crystalline 
𝑀𝑜 (111) with a diameter of 10 mm and a thickness of 
0.3 mm.Before ion implantation, we heated the target at vacuum (
𝑃 = 10
−6
𝑃𝑎)𝑇 = 2000 𝐾 for 25-
30 hand heated the pulse
𝑇 = 2200𝐾. Apply oxygen vacuum chamber to 𝑃 = 10
−2
𝑃𝑎 Pa in special 
gas bubble. We change the ion energy at 
1 − 5𝑘𝑒𝑉 and the dose at 4 − 8 ∙ 10
17
𝑠𝑚.In order to 
improve the stoichiometric composition of the 
𝑀𝑜𝑂
3
nanoparticle, we heat it at 
𝑇 = 850 𝐾 during 
ion implantation because this temperature is the optimum temperature and allows uniform thin films 
on the surface.During ion implantation, we made films of different thicknesses, such as 
30Å, 60Å, and 
90Å thickness. The composition, electron structure and physical properties of nanoplanes were studied 
by means of Oje - electron spectroscopy, electron spectroscopy, which lost characteristic of 
photoelectron spectroscopy.As shown in Figure 1, the depth distribution of oxygen atoms on the 
𝑀𝑜𝑂
3
/ 𝑀𝑜 nanofilm by ion implantation and thermal oxidation is obtained. 
The stoichiometric composition of the nanofilm obtained during thermal oxidation is slightly 
homogeneous, with a transition layer width of 
65 − 70 Å. The content of the 𝑀𝑜𝑂
3
nanoparticle 
obtained by ion implantation remained unchanged at 
60 Å and the width of the transition layer did not 
exceed 
40 − 45 Å 
Figure 1. Depth of oxygen atom on 
𝑀𝑜𝑂
3
/ 
𝑀𝑜 nanofilm by ion implantation (curve 1) and thermal 
oxidation (curve 2). 
The energy parameters of the 
𝑀𝑜𝑂
3
zones were calculated using the energy distribution methods 
of secondary electron coefficients of photoelectron spectroscopy. Figure 2 shows their 
(𝐸𝑝) and 𝛿 
(𝐸𝑝) bond graphs for 𝑀𝑜𝑂
3
nanoparticles 𝑑 = 60 Å thick.Where 𝑅 is the coefficient of the 
electronically rotating electrons 
𝛿- coefficient the true secondary electrons. 

---