Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni


“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”. Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr



Download 11,09 Mb.
Pdf ko'rish
bet343/436
Sana22.02.2022
Hajmi11,09 Mb.
#80408
1   ...   339   340   341   342   343   344   345   346   ...   436
Bog'liq
Конференция - физика-PDFга

“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”. Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.
 
335 
Таблица 2. 
Массовые коэффициенты поглощения на длинах волн излучений Sb, Bi, Te 
L
α1
Sb 
L
α1
Te 
L
α1
Bi 
𝜇
𝑺𝒃
𝑺𝒃
=413 
𝜇
𝑻𝒆
𝑻𝒆
=392 
𝜇
𝑩𝒊
𝑩𝒊
=113,4 
𝜇
𝑺𝒃
𝑻𝒆
=440 
𝜇
𝑻𝒆
𝑺𝒃
=368 
𝜇
𝑩𝒊
𝑺𝒃
=121 
𝜇
𝑺𝒃
𝑩𝒊
=1417 
𝜇
𝑻𝒆
𝑩𝒊
=1523 
𝜇
𝑩𝒊
𝑻𝒆
=127,3 
В таблице 3 приведены результаты измерений соотношения интенсивностей 
характеристического излучения К
А
(SЬ), К
А
 (Те), К
А
(Вi) и расчеты атомных концентраций для 
нескольких образцов.
Данные рентгеноспектрального анализа образцов. Таблица 3.
Источ-
ник
Т
п
=50°С
Т
п
=90°С
Т
п
=150°С








2


K
A
(Sb)
 
0,303 
0,118 
0,198 
0,537 
0,150 
0,231 
0,490 
0,120 0,462 
0,499 
0,551 
K
A
(Te) 
0,614 
0,837 
0,758 
0,326 
0,912 
0,702 
0,306 
0,815 0,359 
0,318 
0,300 
K
A
(Bi) 
0,154 
0,025 
0,024 
0,167 
0,049 
0,026 
0,189 
0,020 0,166 
0,179 
0,189 
n(Sb) 
30,9% 12,7% 20,8% 565,6% 14,4% 25,4% 54,8% 13,3% 51,1% 54,9% 58,6% 
n(Te) 
59,8% 85,6% 77,5% 32,9% 82,7% 72,8% 32,9% 85,3% 38,1% 33,5% 29,6% 
n(Bi) 
9,3% 
1,7% 
1,6% 
10,5% 
2,9% 
1,8% 12,4% 1,4% 10,8% 11,6% 11,8% 
1-измерения со стороны границы раздела пленка-подложка; 
2 и 2
I
–измерения после травления пленки; 
3-измерения на поверхности пленки. 
Первый столбец соответствует соединению, используемому в качестве источника для 
испарения. Остальные столбцы соответствуют пленкам, сконденсированным при различных 
температурах подложки T
n
=50, 90 и 150°С. Данные столбцов, обозначенных цифрой I, получены 
при измерении химического состава пленок со стороны границы раздела пленка-подложка. 
Столбцы, обозначенные цифрой 2, полученные при измерении состава со стороны поверхности 
пленки, после удаления половины ее толщины, т.е.~2,5 мкм. В 3-ем столбце приведены результаты 
измерения состава на поверхности пленок. В предпоследнем столбце, обозначенном цифрой 2, 
состав измерялся на глубине около 1 мкм от поверхности пленки, полученной при Т
n
= 150°С 
Из последних трех строк таблицы 3 видно, что локальный химический состав пленок системы 
Вi-Sb-Te существенно изменяется по толщине. Это обусловлено диссоциацией на молекулы 
исходного соединения при испарении: ВiTe, SbТe, Те

и Sb различием в давлениях паров этих 
молекул. Измерения показывают, что состав источника соответствует 
0,25
Sb
0,25
)Te
2
.
Характерной особенностью всех пленок является обогащение их теллуром вблизи подложки, 
а в приповерхностном слое - сурьмой. Причем, вблизи подложки химический состав всех пленок 
приблизительно одинаковый и не зависит от Т
п
[3] . Отличительной особенностью пленок, 
полученных при Т
п
~ 150°С по сравнению с Т
п
=50 и 90°С, является обеднение теллуром на 
меньшем расстоянии от подложки. Таким образом, диссоциация при испарении исходного 
соединения ((В
0,25
Sb
0,75
)Te

приводит к значительному изменению химического состава пленки по 
толщине. 
Литература 
1. Белк Дж. Количественный рентгеноспектральный анализ сложных систем. /Физические 
основы рентгеноспектрального анализа. Персанг.–М. Наука.1973. С. 248-259. 
2. Heinrich K.F.I. x-ray absorption uncertainty. The Electron Microprobe. Washington D.C., 
October 1966, John Willy and Sons. -1966. –№
4.
3. Онаркулов К.Э., Юлдашев А.А., Азимов Т., Йўлдошқори Ш. Висмут-сурма теллурид 
юпқа пардаларнинг электрофизик хоссаларига технологик жараённинг таъсири. //ФарДУ 
илмий хабарлар. 2017. №2. С.32. 



Download 11,09 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   339   340   341   342   343   344   345   346   ...   436




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish