Физика-техника институти, ион-плазма ва лазер технологиялари институти, самарқанд давлат


группы титана на параметры МДП-структур»



Download 0,76 Mb.
Pdf ko'rish
bet25/36
Sana21.02.2022
Hajmi0,76 Mb.
#33812
1   ...   21   22   23   24   25   26   27   28   ...   36
Bog'liq
kremnijli strukturalarning elektrofizik xususiyatlariga zr ti va hf kirishmalarining tasiri (1)

группы титана на параметры МДП-структур» приведены результаты 
исследования влияния некоторых тугоплавких элементов на параметры
МДП-структур. 
Влияние атомов тугоплавких элементов на параметры МДП-структур 
рассмотрено подробно на примере титана. Приведены результаты измерений 
спектров СС-DLTS и ВФХ в МДП-структурах на подложках из n-Si, 
легированного титаном. Отметим, что каких-либо данных о влиянии на 
параметры МДП - структур атомов Ti, введенных в кремниевую подложку, 
до сих пор нет. Поэтому в данной работе делается попытка восполнить этот 
пробел и детально исследовать свойства кремниевых МДП-структур с 
примесью титана. 
Легирование Si титаном осуществлялось при помощи диффузии при 
температуре 1250 
0
С в течение 10 часов из напыленного на поверхность 
кремния металлического Ti. Далее, как показано выше, изготавливались 
МДП-структуры. Измерения ВФХ МДП-структур на основе Si
показали, что они сдвинуты в сторону отрицательных смещений по 
сравнению с контрольными образцами. Это свидетельствует о том что,
введение Ti в Si приводит к увеличению плотности ПС МДП - структур и 
образованию положительного заряда на границе раздела Si-SiO
2
.
Измерения спектров СС-DLTS в МДП-структурах на основе Si и 
контрольных МДП-структурах (без примеси титана) показали, что на 
спектрах легированных образцов наблюдаются 2 пика с максимумами при 


34 
Рис.6. Высокочастотные C-V-характеристики МДП-структур
на основе кремния, легированного титаном (2) и контрольных 
МДП-структур (1) 
температурах Т
мах 
=118 К и Т
мах 
=153 К, а в контрольных образцах такие 
пики не обнаружены (рис.7). Численные расчеты параметров дефектов, 
обусловленных этими пиками, показали, что они не отличаются от 
параметров соответствующих ГУ, наблюдавшихся нами ранее в Si,
легированном титаном. Действительно, пик с максимумом при Т =118 К
соответствует ГУ с энергией ионизации Е
с
- 0.20 эВ, а пик при Т = 153 К -
ГУ Е
с
- 0.27 эВ.
Приведено изменение распределения плотности поверхностных 
состояний N
ss 
по ширине запрещенной зоны Е
g
полупроводника кремниевых

Download 0,76 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   21   22   23   24   25   26   27   28   ...   36




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish