Амалиёт Вакуум олиш усуллари

Вакуум ўлчаш техникаси

И дишда 10¹ - 10^-3 мм.сим.уст. оралиғидаги вакуумни термопара лампаси билан ўлчаш мумкин. Бу термопаралар газ босимининг иссиқлик ўтказиш принципига асосланган. Бу қуйидаги расмда кўрсатилган (1-расм). Трубка ичидаги газ босими атмосфера босимига тенг бўлганда миллиамперметр нолга яқин қийматни кўрсатиб туради. Кейинчалик босимнинг пасайиши билан газнинг иссиқлик ўтказувчанлиги камаяди ва қиздиргичнинг ҳамда шу билан бирга термопаранинг ҳам температураси ошади. Термопарадаги ҳосил бўладиган ЭЮК қиймати ўсиши Билан милливольтметрнинг кўрсаткичи ошади. Манометрни даражалаш учун махсус график ишлатилади, унда манометрдан ўтказилган тўла токка босим қиймати боғланади.

1-расм. Термопарали манометрнинг тузилиши. 1-милиамперметр,

2-милливольтметр, 3-иситгич,
4-термопара, 5-реостат, 6-трубка.

Кичик даражадаги босим учун (Р10^-4-10^-8 мм. сим. уст.) босимни ўлчаш учун электрон ионлаш манометрлари ишлатилади.

Қиздирилган катоддан электронлар чиқиб, анод сеткаси томон ҳаракат қилади. Улар ўз йўлида сетка ва коллектор орасидаги газ молекулалари билан тўқнашиб, уларни ионлаштиради. Ионланган молекулалар коллекторда йиғилиб, унинг занжирида ион токини ташкил қилади.
2 -расм. Қуршаб олувчи коллекторли ионизацион манометрик лампа тузилиши.
l-катод, 2-анод, 3-ионлар коллектори 4, 5 ва 6 - катод, анод ва коллекторга уланган оёқчалар, 7-шиша колба, 8-вакуум тизимига уланадиган колбанинг қисми.

Босим пасайиши билан бу ток хам кичиклаша бошлайди ва шу принцип асосида манометр ишлайди.

Ўлчанадиган босим қуйидаги ифодадан топилади:

Р - босим, С - доимий сoн, Iu - ионлар токи, Iэ - электронлар токи.

Демак, ўлчанадиган босим ионлар ҳосил қиладиган ток қиймати Ju ва электронлар оқимининг токи Iэ га боғлиқдир.


Вакуум тизимлари

Тажрибавий вакуум тизимлари таркибан турли бўлиб, уларнинг схемаси қўйилган мақсадларга жавоб бериши керак. Лекин намунавий тизим паст вакуум таъминловчи механик насослардан ва иккинчи поғонада юқори вакуум берувчи буғ оқимли, молекуляр насослардан иборат бўлади. Мисол сифатида расмда шундай тизим берилган (3-расм). Вакуум системаси форвакуум насоси (ФН), циолит насоси (ЦН), магниторазряд насоси (НОРД), гетерли совитиладиган насос (ГИН). Манометрлар иккита термопарали (ТМ1,ТМ2) ва электрон ионизацияли манометр (ЭИМ) ва вентиллар (А,Б,В,Г) дан иборат.

Механик насос - икки босқичли пластинка-статорли ВН--61М маркали насос бошланғич (10^-3мм сим. уст.) босимгача ишлатилади, кейинчалик юқори вакуум олиш учун қолган насослар ишлатилади. Циолитли насос - газларни циолит моддаси орқали ютишга асосланган бўлиб, 10^-5 мм. сим. уст. вакуумни олиш мумкин. Магниторазрядли насос НМД-0,25-1 маркали бўлиб, электр разряди билан газ молекулаларини ионлаштириб, уларни катоддан отилаётган титан атомлари билан бириктириб камера деворига ташилади. Бу қурилмада юқори вакуумни 10^-9 мм сим. уст. даражагача олиш мумкин.
Титан-геттерли совитиладиган насос – 10^-9 мм сим. уст. ва ундан юқори вакуум олишда ишлатилади. Бунинг учун бутун геттер моддаси бир марта қиздирилиб совитилади. Қиздирилган ҳолатида титан атомлари ҳажмдаги газ молекулалари билан бирикиб, атрофдаги суюқ азот ҳароратига эга девор қисмларига ташилиб ўтказилади.


Синов саволлари
1. Ваккум қурилмасини чизиб беринг ҳамда юқори ва ўта юқори вакуум олиш кетма-кетлигини тушунтириб беринг.
2. Термопарали манометрнинг ишлаш припципини тушунтириб беринг.
3. Электрон ионланиш манометрининг ишлаш принципини тушунтириб беринг.
4. Насоснинг техник талабларига биноан ишлаш кўрсаткичлари, техник паспортида келтирилган қиймати билан ўлчанган қийматларни таққосланг ва нега насос ишлаш тезликлари фарқли эканлигини тушунтириб беринг.
5. Вакуум тизимидаги газ сизиш жойларини топиш йўллари қандай?
6. Магниторазрядли насос ишлаш принципи ва қурилмаси.