6. “Яримўтказгичлар физикаси” фанидан маъруза матнлари


ИШЛАШ УСКУНАСИНИНГ ТУЗИЛИШИ



Download 4,64 Mb.
bet45/47
Sana22.02.2022
Hajmi4,64 Mb.
#108739
1   ...   39   40   41   42   43   44   45   46   47
Bog'liq
6. ЯУФ III курс маъруза матнлари

ИШЛАШ УСКУНАСИНИНГ ТУЗИЛИШИ

Ишчи бœшлиқ сифатида кварц най (1) хизмат қилади (5-расм), унинг атрофида қиздиргич (2) жойлашган. Най ва қиздиргич орасида ҳаво қатлами мавжуд. Қиздиргич ташқи таъсирдан жисм (3) билан ажратилган. Бу жисмнинг иссиқлик œтказувчанлиги жуда паст ва у (5) қоплама билан œралган. Кварц найига (4) яримœтказгич кристалл кремний намунаси жойланган саватча œрнатилади. Термик ишлов жараёнида технологик муҳит бœлиб газ (азот, водород, аргон, кислород) хизмат қилади.


Қиздиргич (печка) ишга туширилганда намунанинг қизиши нурланиш ва иссиқлик узатиш ҳисобига амалга оширилади. Бир вақтнинг œзида доимий температурали иссиқлик кварц найи бœйлаб тарқалади. Қиздириш уч хил усул билан амалга оширилади:
а) саватчанинг иссиқлик œтказувчанлиги ҳисобига ва газ муҳити орқали;
б) иситкичнинг нурланиши ва кварц найининг қизиши ҳисобига;
в) ишчи муҳит ҳисобига.


ТЕРМИК ИШЛОВ БЕРИЛГАН КРЕМИЙ НАМУНАЛАРНИ ОЛИШ

1. Мœриси бор шкаф ичида кремний намунаси водород пероксиди билан чайилади ва қуритилади.


2. Электр œтказувчанлик тури аниқланади ва қаршилиги термозонд ва Ом-метр ёрдамида œлчанади.
3. Қайнаб турган сувга (Н2О) бир неча томчи NaOH солиб, шу сувда кремний намунаси 10 минут давомида кимёвий едирилади.
4. Намуна қуритилади.
5. Намуна технологик муҳит - вакуумга кварђ найи билан жойланади.
6. Кварц найини қиздириш печкасига қœйилади.
7. Температура 10000С гача кœтарилади.
8. Тоблаш 104 0С/сек. тезликда, тез совитиш йœли билан амалга оширилади.
9. Температуранинг 0-5000С ва 500-10000С оралиқларида кремнийнинг œтказувчанлик тури ва солиштирма қаршилиги аниқланади.
10. Тобланган кремний намунасини 400-5000С температуралар оралиђида қиздирилади.
11. 9-œлчаш ишлари такрорланади.

ПОЛИКРИСТАЛЛ КРЕМНИЙ ОЛИШ


Кремний асосида асбоб ва тузилмалар тай¸рлашнинг биринчи босқичи табиий хом аш¸дан поликристалл материал олишдир. Кремнийнинг электрик тавсифномасига ҳатто кичик миқдордаги киришмаларнинг ҳам сезиларли даражада таъсир кœрсатиши бизга яхши маълум. Легирлаш ¸рдамида кремний хоссаларини бошқаришнинг биринчи шарти œта тоза, легирланмаган поликремнийнинг мавжудлигидир.


Ҳозирги кунда поликристалл кремнийнинг тозалик даражаси 10-9 (кремний ҳажмининг миллиарддан бир қисмигача бегона киришма бор) бœлиши мумкин. Шунинг учун ҳам технологик жараёнлар жуда катта аниқлик ва тозаликни талаб этади. Одатда кремнийда акцептор киришмалар (B, Al) миқдори 0,310-7 % ва донор киришмалар (P, As) миқдори 1,510-7 % атом миқдоридан ошмайди. Поликристалл кремнийнинг тозалигига қœйиладиган талаблар 1-жадвалда келтирилган.



Download 4,64 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   39   40   41   42   43   44   45   46   47




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish