15 - MA’RUZA MAVZU: Bosma platalar va ularni loyixalash asoslari. Katta integral sxemalar va ularni asosiy turlari xamda texnik ko‘rsatgichlari, xotira qurilmalari. REJA: 1. Raqamli integral mikrosxemalar. 2. Katta integral mikrosxemalar. 3. Elektron va yarim o`tkazgichli qurilmalarni loyihalashni umumiy holatlari. Raqamli integral mikrosxemalar. - Integral mikrosxema (IMS) – bu o`zaro bog`langan bir necha tranzistorlar, diodlar, kondensatorlar. Rezistorlar yig`indisi hisoblanadi va u yagona texnologik siklda tayyorlanib (yani bir paytda), elektr signallarini o`zgartirishda ma`lum funksiyalarni bajaradi.
- IMS tarkibiga kirgan komponentlar undan mustaqil ajratib olinishi va mustaqil buyum sifatida ishlatilishi mumkin emas. Ular integral elementlar deb ataladi. Ulardan farqli o`laroq ularga konstruktiv moslashtirilgan detal va qurilmalar diskret komponentlar deb ataladi. Ular asosida tuzilgan bloklar esa diskret sxemalar deb ataladi.
- Yuqori puhtalik va sifat, ihchamlik, engillik, arzonlik integral mikrosxemalarini halq ho`jaligini barcha sohalarida keng qo`llanilishga sabab bo`lmoqda. Zamonaviy mikroelektrotexnika asosini yarimo`tkazgichli integral mikrosxemnalar tashkil etmoqda. Zamonaviy yarimo`tkazgichli IMS kristtallarini o`lchamlari 1,5x1,5 dan 6x6 mm gacha.
- Kristall maydoni qancha katta bo`lsa unga shuncha ko`p elementli integral mikrosxemani joylashtirish mumkin bo`ladi.
- Integral mikrosxemalarida tranzistorlarni ma`lum ulanishlar asosida rezistor va kondensator hosil qilish mumkin.
Katta integral mikrosxema - Ko`p sonli bir turli yacheykalardan tashkil topgan ko`p o`lchamli yarimo`tkazgichli qurilmaga aytiladi. U murakkab funksiaonal sxemaga birlashgan bo`ladi.
- Hozirgi kunda ishlab chiqarayotgan katta integral mikrosxemalar (KIMS) 10 ming va undan ortiq mantiq elementlaridan tashkil topadi.
- Barcha KIMS lar uch sinfga bo`linadi.
- hisoblagichlar, rezistorlar, jamlagichlar, arifmetik-mantiq qurilmalari tipidagi funksional bloklar:
- xotiras qurilmalari (XQ):
- mikroprosessorlar (MP).
Elektron va yarimo`tkazgichli qurilmalarni loyihalashni umumiy holatlari - To`g`ri elektron va yarimo`tkazgichli qurilmalarni strukturaviy va prinspial elektr sxemalari ularni ishlash prinsplarini taxlil qilishga o`rgatadi. Ammo bu elektr sxemalar elektrik va yarimo`tkazgichli qurilmalarni konstruksiyasini belgilay olmaydi, balki ularni tuzish uchun asos bo`la oladi holos. Bunday qurilmalarni loyihalashni asosiy prinsplari haqida tushunchalar ularni ishlab chiqarishdagina emas. Balki ulardan foydalanish uchun ham kerak bo`ladi. Elektron va yarimo`tkazgichli qurilmalarni elementlari aktiv va passiv bo`linadi.
- Aktiv elementlarga quyidagilar kiradi: yarimo`tkazgichli va elektrovakuum asboblar.
- Passiv elementlarga esa: rezistorlar, kondensatorlar, transformatorlar, induktivlik g`altaklari, rele, ulagichlar, indikatorlar, sim va kabellar.
IMS ni yaratish texnologyasining asosiy bosqichlari - Yarim o’tkazgich namunani IMS yasash uchun tayyorlash jarayonlari;
- Fotolitografiya jarayoni;
- Diffuziya;
- Epitaksiya;
- Termik oksidlash;
- Ion legirlash;
- Metallash va boshqa yakunlovchi bosqichlar;
Yarim o’tkazgich namunani IMS yasash uchun tayyorlash - Bu bosqich quyidagi jarayonlarni o’z ichiga oladi:
- a) kremniy monokristallini o’stirish;
- b) uni olmos keskich vositasida disklarga kesish;
- v) korund, volfram karbidi yoki olmos kukuni ko’rinishidagi obraziv yoki ultratovush yordamida namunaga mexanik ishlov berish;
- g) sirka kislotasi yoki azot kislotasida yuvib, sayqallash;
- d) namunaning sayqallangan sirtiga n yoki p – turdagi epitaksial qatlam o’stirish va SiO2 muhofaza qatlamini hosil qilish.
IMS ishlab chiqarishning asosiy texnologiyaviy bosqichlari Agregatlanish
Do'stlaringiz bilan baham: |