Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

Асос сиртидаги дефектларнинг плёнкада ҳам давом этиши. Бу механизм жуда катта роль ўйнамайди, чунки кўпинча эпитаксиал ўсаётган плёнкадаги нуқсонларнинг зичлиги асос сиртидаги нуқсонлар зичлигидан ўнлаб, ҳатто юзлаб марта катта бўлади. Асос сиртидаги дислокациялар плёнка аморфсимон ўстирилса, сезиларли таъсир қилиши мумкин.

Марказлар йўналишларининг аккомодацияси ва мос келмаслик кучланиши. Кичик оролчаларнинг ўсиши ва бир-бирига қўшилиб плёнка ҳосил қилиш жараёнида кристалл тузилишининг ҳар хил нуқсонлари вужудга келади. Дислокациялар йўналишларининг бир хил эмаслиги маҳсули бўлганлиги учун коалесценция (қўшилиш) жараёнида йўналишларнинг мос келмаслик даражаси дислокациялар сонини белгилайди.

Учта марказ ўсиб, бир-бирига қўшилишида уларнинг йўналишлари ҳар хиллиги туфайли мос келмаслик кучланиши вужудга келади ва улар орасидаги майдонда ҳам дислокация вужудга келади.

4. 
   Нуқтавий нуқсонларнинг тўпланиши. Нуқтавий нуқсонларнинг дислокацияларни вужудга келтиришдаги роли яхши ўрганилмаган. Плёнкаларни ўтқазиш жараёнида буғланиш туфайли кўплаб бўш жойлар вужудга келиши мумкин. Бу айниқса, кичик ҳарорат ва катта тезликли ўстиришда сезиларли бўлади. Бўш жойларни тўлдириб бориш жараёнида ҳосил бўладиган нуқтавий нуқсонлар тўплами дислокация сиртмоғи ва бошқа нуқсонлар занжирини вужудга келтиради.
   
5. 
   Пластик деформация (шакл ўзгариш). Пластик деформация ҳисобига эпитаксиал плёнкалар юқори кучланишли ҳолатда бўладилар. Пластик деформациялар ҳисобига ўсаётган оролчаларнинг қирралари ҳар хил кўринишдаги дислокацияларни вужудга келтириши мумкин.
   
6. 
   Сиртнинг тоза эмаслиги. Чет элементлар атомларининг мавжудлиги жойлашишга боғлиқ бўлган нуқсонларни вужудга келтиради.
   

Ҳозирги пайтда монокристалл плёнкаларни ўстириш жараёнида ҳосил бўлиши мумкин бўлган нуқсонлар ва уларнинг механизмлари тўлиқ ўрганилган эмас. Бу бўлимда берилган ахборотлар умумий тушунчалар мажмуидан иборатдир.