Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

2. Доналар (бўлакчалар) чегараси. Ҳар қандай плёнка кўпгина алоҳида – алоҳида бўлакчалар – кристаллитларнинг йиғиндисидан ташкил топади. Кристаллитларнинг ўлчамлари асоснинг ҳароратига, плёнканинг қалинлигига, ўстириш тезлигига ва тоблаш ҳароратига боғлиқ бўлади (4.7 – расм).
4
.7 – расмнинг таҳлили шуни кўрсатадики, кристаллитларнинг ўлчамлари аввалига плёнка қалинлигига боғлиқ равишда катталашиб боради, плёнка маълум бир қалинликка етгандан кейин ўзгармай қолади. Асоснинг ҳароратини ошириш ва плёнкаларга кейинги ҳароратли ишлов бериш (тоблаш) ҳам кристаллитларнинг ўлчамларини сезиларли даражада катталаштириш имконини беради. Плёнкаларни ўтқазиш тезлиги кичик бўлганда (масалан, кремнийни кремний юзасида ўтқазишда ~25 Е/с гача) кристаллит ўлчамлари ўтқазиш тезлигига боғлиқ бўлади, кейин эса ўтқазиш тезлиги ошган сари кристаллит ўлчамлари кичрайиб боради. Умуман кристаллитларнинг бир – бирига тегиб турадиган соҳалардаги чегаралар плёнка учун нуқсонлар ҳисобланиб, унинг физик-кимёвий хусусиятларига таъсир қилади.
3. Сиртнинг юзаси ва ғадир – будурлиги. Плёнканинг тўла энергияси энг кичик қийматга эга бўлиши учун, унинг сирти мумкин қадар кичик юзага эга бўлиши, яъни сирт идеал текисликдан иборат бўлиши керак. Плёнка қалинлиги ошган сари унинг сирт юзаси мос равишда ошиб бориши, яъни ғадир-будурликнинг кўпайиб бориши тажрибалардан аниқланган. Плёнкалардаги бу каби нуқсонларни камайтириш учун уни қиздириш, электронлар, ионлар ёки лазер нурлари билан ишлов бериш усуллари қўлланилади.


4.4. Монокристалл плёнкалардаги нуқсонлар

Монокристалл плёнкалар ўстиришда вужудга келадиган асосий нуқсонлар ва уларнинг юзага келиш сабаблари (механизмлари) ҳақида қисқача тўхталиб ўтамиз. Тузилишга боғлиқ бўлган асосий нуқсонлар қуйидагилардан иборат:

1. Жойлашишга боғлиқ бўлган нуқсонлар. 2. Иккиланувчи. 3. Кичик бурчакли чегара. 4. Нуқтавий нуқсонларнинг тўпланишига боғлиқ бўлган нуқсонлар (масалан, дислокация сиртмоғи). 5. Дислокациялар.
Панжаранинг бундай нуқсонлари ҳар қандай материални (металл, қотишма, ярим ўтказгич, диэлектрик) эпитаксиал ўстиришда кузатилади.
Нуқсонларнинг ҳосил бўлиш механизмларини қуйидагича талқин қилиш мумкин:

2.