Ў з б е к и с т о н р е с п у б л и к а с и Олий ва Ўрта махсус таълим вазирлиги Абу Райҳон Беруний номидаги

4.3. Поликристалл плёнкаларнинг ўсиш жараёнида нуқсонларнинг вужудга келиши

Ўсиш жараёни ва нуқсонларнинг ҳосил бўлиши ҳар хил асос ва плёнкалар учун ўзига хос ҳолда ҳар хил бўлса ҳам, бу жараёнларда умумийлик мавжуд. Қуйида поликристалл плёнкалар ўсиши жараёнида нуқсонлар ҳосил бўлишининг асосий ҳолларини кўриб ўтамиз. Нуқсонларни аниқлашда катта ва кичик энергияли дифракция ҳамда растрли электрон микроскопия усуллари кўп қўлланилади.

1. 
   Д
   ислокациялар. Дислокациялар (чизиқли нуқсонлар) ўсиш жараёнида энг кўп учрайдиган нуқсонлардан ҳисобланади. Уларнинг зичлиги кўпинча 10¹⁰ см^-2 дан 10¹¹ см^-2 гача бўлади. Куб панжарали металл ва бошқа плёнкаларни ўстиришда дислокация ҳосил бўлишининг беш турдаги механизми мавжудлиги аниқланган:
   

4.5-расм. Юпқа плёнкалар ҳосил бўлишининг схематик тасвири:
а) айрим атомларнинг юзага ўрнашиб қолиши; б) марказлар ҳосил бўлиши;
в) марказлар ўсиб алоҳида оролчаларнинг ҳосил бўлиши;
г) оролчаларнинг бир-бирига қўшилиб кетиши.

1. 
   Ёнма – ён ўсаётган иккита оролчанинг кристалл панжаралари бир-бирига нисбатан кичикроқ бурчак ҳосил қилса, улар орасида дислокациядан иборат чегара ҳосил бўлади.
   
2. 
   Плёнка ва асоснинг панжара доимийлари кўпинча бир-биридан фарқ қилади. Натижада плёнка ва асос атомларининг бир-бирига нисбатан силжиши рўй беради. Ҳатто оролчадаги атомларнинг силжиши иккинчисиникидан фарқ қилганлиги учун оролчаларнинг ўсиш жараёнида дислокациялар вужудга келиши мумкин.
   
3. 
   Плёнкалар ҳосил бўлишининг бошланғич жараёнларида вужудга келадиган тешик ва оралиқ (бўш жой) ларнинг қирраларида юзага келадиган кучланишлар узлуксиз плёнкаларда дислокация ҳосил қилади.
   
4. 
   Асоснинг юзига чиққан дислокациялар плёнкада ҳам давом этиши мумкин.
   
5. 
   Узлуксиз плёнкада оролчаларнинг бир-бирига қўшилиш жараёнида оролчаларнинг юзасига чиққан нуқсонларнинг бир-бирига қўшилиб кетиши натижасида дислокациялар вужудга келиши мумкин.
   

Кўп ҳолларда плёнка-асос чегарасидаги механик кучланишларни камайтириш учун дислокациялар занжири вужудга келади.
Дислокациялар зичлигини ўрганиш шуни кўрсатадики, плёнкаларда энг кўп дислокациялар каналлар занжири ва тешиклар ҳосил бўлиши жараёнида пайдо бўлади (4.6 – расм).
Тадқиқотлар кўрсатадики, каналлар тўлгандан кейин ҳам ўсаётган плёнкада жуда кичкина тешиклар (диаметри 100-200 Е) мавжуд бўлади. Деярли ҳамма тешиклар диэлектриклар маркази бўлиб хизмат қилади.