0.8.1. Полупроводниковые соединения типа А3В5
Интерес к соединениям III и V групп Периодической системы возник в 1950-е гг., когда были впервые выявлены их полупроводниковые свойства. Такие соединения обеспечивают более широкий выбор основных полупроводниковых параметров, ширины запрещенной зоны, подвижности носителей заряда, чем элементарные полупроводники IV группы. В таблице 10.3 в качестве примера приведено сравнение некоторых свойств соединений А3В5 с горизонтальными изоэлектронными аналогами IV группы. Изоэлектронными аналогами называются вещества с близкой кристаллической структурой и одинаковым средним атомным номером Zcp.
Таблица 10.3
Сравнение свойств соединений А3В5 с изоэлектронными аналогами IV группы
Материал
|
Zcp
|
Температура плавления, С
|
Ширина запрещенной зоны, эВ
|
Кремний
|
14
|
1417
|
1,12
|
Фосфид алюминия А1Р
|
14
|
2550
|
2,45
|
Германий
|
32
|
937
|
0,66
|
Арсенид галлия GaAs
|
32
|
1238
|
1,428
|
Серое олово a-Sn*
|
50
|
—
|
0,08
|
Антимонид индия InSb
|
50
|
525
|
0,18
|
' a-Sn при 13,2 °С испытывает полиморфное a -> p-превращение; p-Sn имеет 1т = 231 °С и не является полупроводником.
Появление ионной компоненты связи в соединениях А3В5 по сравнению с ковалентной связью в полупроводниках IV группы приводит к большим значениям температуры плавления и ширины запрещенной зоны.
Особый интерес к соединениям А3В5 в настоящее время обусловлен потребностями оптоэлектроники в быстродействующих малогабаритных источниках и приемниках излучения. На базе А3В5 создаются полупроводниковые лазеры, светодиоды, фотоприемники и фотокатоды, фотоэлектронные умножители, туннельные диоды, полевые транзисторы, генераторы СВЧ-колебаний и т. д. Важным свойством многих материалов этого типа является высокая эффективность излучательной рекомбинации неравновесных носителей.
К полупроводниковым материалам А3В5 относятся соединения бора, алюминия, галлия и индия с азотом (нитриды), фосфором (фосфиды), мышьяком (арсениды) и сурьмой (антимониды). Они кристаллизуются, за исключением нитридов, в решетке типа сфалерита, т. е. относятся к алмазоподобным. Нитриды кристаллизуются в решетке гексагонального типа (типа вюрцита).
Поскольку каждый элемент III группы находится в тетраэдрическом окружении элементов V группы, соединения А3В5 являются ближайшими электронными аналогами кремния и германия. Внутри каждой группы соединений-аналогов с увеличением среднего атомного номера Zcp и атомных масс компонентов наблюдается уменьшение ширины запрещенной зоны Eg, температуры плавления, твердости, а также увеличение пластичности вследствие уменьшения ковалентной и увеличения ионной составляющей связи.
Рис. 10.14. Фазовая диаграмма системы «индий—мышьяк»
Акцепторными примесями для соединений А3В5 являются элементы II группы (Be, Mg, Zn, Cd). Они замешают металлический компонент.
В качестве донорной примеси выступают элементы VI группы (S, Se, Те), которые при легировании замещают неметаллический компонент соединения А3В5.
Фазовые диаграммы систем А3В5 имеют однотипный эвтектический характер. В качестве примера на рис. 10.14 приведена диаграмма системы «индий—мышьяк».
Основными соединениями А3В5, наиболее широко используемыми в полупроводниковой промышленности, являются арсенид и фосфид галлия, а также антимонид индия.
Do'stlaringiz bilan baham: |