Reja: Yarimo'tkazgich imslar yaratishda texnologik jarayon va operasiyalar



Download 216,17 Kb.
bet1/3
Sana14.06.2022
Hajmi216,17 Kb.
#669132
  1   2   3
Bog'liq
Mustaqil ishi ¹1 Mavzu Integral mikrosxemalar va integral


Mavzu: Integral mikrosxemalar va integral mikrosxemlarni tayyorlash texnologiyasi.

Reja:

  1. Yarimo'tkazgich IMSlar yaratishda texnologik jarayon va operasiyalar

  2. Bipolyar tranzistorlar asosidagi integral mikrosxemalarni tayyorlash

  3. M DY — tranzistorlar asosidagi IMSlarni tayyorlash


Tayyorlov operatsiyalari. Y arim o'tkazgich IM Slar tayyorlash uchun asosiy m aterial bo'lgan — krem niy m onokristall quym alari olishdan boshlanadi. M onokristall quym alar hosil qilishning bir qancha usullari mavjud.
Choxralskiy usulida tarkibiga d o n o r yoki ak sep to r k iritm a lar qo'shilgan o ‘ta toza krem niy eritm asi yuziga krem niy m onokristali tushiriladi. E ritm a eritgan m onokristall o ‘z o ‘qi atrofida asta-sekin aylantirilib ko‘tariladi. M onokristall ko‘tarilishi bilan eritm a kristalanadi va krem niy m onokristali hosil bo'ladi. Hosil b o ‘lgan krem niy quym asi n — yoki p — turli elektr o ‘tkazuvchanlikka ega b o 'lad i. Q uym a uzunligi 150 sm, diam etri esa 150 m m va undan katta bo‘lishi m um kin.
Zonali eritish usulida m onokristall ifloslantiruvchi kiritm alardan q o ‘shim cha tozalanadi. B unda kristalning to r zonasi eritilib, eritilgan zona kristalning bir uchidan ikkinchi uchiga asta siljitib boriladi. K ir itm a la r n in g e rig a n fa z a d a e r u v c h a n lig i q attiq h o la td a g i eruvchanligiga qaraganda katta b o ‘lsa, o ‘sha kiritm alar suyuq fazaga o ‘tib kristalning ikkinchi uchiga siljib boradi, va o ‘sha yerda to ‘planadi. K iritm alar to ‘plangan soha tozalash jarayonlari tugagandan so ‘ng kesib tashlanadi.
Epitaksiya. Epitaksiya jarayoni asos sirtida uning kristali tuzilishini takrorlovchi yupqa m onokristall ishchi qatlam lar hosil qilish uchun ishlatiladi. Asos bunda m ustahkam likni ta ’m inlash va kristalanayotgan qatlam takrorlashi zarur bo'lgan kristall panjara sifatida xizm at qiladi. Keyingi texnologik jarayonlarda epitaksial qatlam da IM Sning aktiv va passiv elem entlari hosil qilinadi. G az fazali va suyuq fazali epitaksiya usullari keng tarqalgan bo'lib, ular m onokristall asos sirtida n— yoki p—turli o ‘tkazuvchanlikka ega b o ‘lgan epitaksial qatlam lar hosil qilish im konini beradi.

Download 216,17 Kb.

Do'stlaringiz bilan baham:
  1   2   3




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish