Ion Implantation of Germanium Into Silicon for Critical Coupling Control of

Ion Implantation of Germanium Into Silicon for Critical Coupling Control of
Racetrack Resonators
Ионная имплантация германия в кремний для управления критическим взаимодействием
Резонаторы ипподрома
Ion implantation of germanium into silicon for critical coupling control of racetrack resonators

Ионная имплантация германия в кремний для

критическое управление связью резонаторов беговой дорожки
Milan M. Milosevic1, Xia Chen1, Xingshi Yu1, Nicholas J. Dinsdale1,2, Ozan Aktas1, Swe Zin Oo1,3,Ali Z. Khokhar1, David J. Thomson1, Otto L. Muskens2, Harold M. H. Chong3, Anna C. Peacock1,Shinichi Saito3, Graham T. Reed1

1Zepler Institute for Photonics and Nanoelectronics, Optoelectronics Research Centre,

University of Southampton, UK
2Department of Physics and Astronomy, University of Southampton, UK
3Sustainable Electronic Technologies, Electronics and Computer Science, University of Southampton UK