“Yupqa qatlamlar fizikasi va texnologiyaSI”

Mundarija
Bet
So’z boshi ...........................……………………................................................. 3
1-ma’ruza. Yupqa qatlamlarning fan, texnika va xalq xo’jaligida
ahamiyati. Yupqa qatlam texnologiyasi haqida umumiy tushunchalar.
Adsorbsiya . Fizik va kimyoviy adsorbsiya . Asosiy iboralar........................ 4
2-maüruza Yupqa qatlamlarda markazlar (zarodûshlar) hosil bo’lish
nazariyasi…………….......….......….......….......….................................................. 7
3-maüruza. Kapillyar model........................................ ….......….......................... 9
4-maüruza. Atom modeli................................................................….......…....... 13
5-ma’ruza. Molekulyar-nurli epitaksiya (MNE)........................….......…........ 15
6-maüruza. Qattiq fazali epitaksiya (QFR). Raaktiv epitaksiya................... 19
7-ma’ruza. Yupqa qatlamlarda fizik jarayonlar ketishining o’ziga xosligi.
Elektron qurilma va asboblarini yupqa plyonkalar asosida miniayurlash
istiqbollari. Yupqa epitaksial plyonkalarning ishlatilish sohalari ........ 21
8-ma’ruza. Yupqa plyonkalar olishning boshlang’ich stadiyalari. O’sishning
kinetikasi…..….......….......….......….......…........................................................ 25
9-ma’ruza. MNE texnologiyasining asosiy printsiplari. MNE
plyonkalarining o’ziga xos xususiyatlari. MNEning afzalliklari. ............. 27
10-ma’ruza. Ion-aktivatsion usul bilan qattiq jism yuzalarida yupqa
plyonkalar hosil qilish. Ion-molekulyar usul. Ion implantatsiya usuli. ...... 29
11-ma’ruza. Ionli legirlash uchun asbob-uskunalar. Tajribalar o’tkazish
vaqtida amalga oshiriladigan texnologik jarayonlar....................................... 30
12-ma’ruza. Metalloorganik birikmalar asosida gaz fazali epitaksiya
usuli…..….........….......…..................................................................................... 34
13-ma’ruza. Yupqa qatlamlarning o’rganish usullari haqida umumiy
ma’lumotlar….......….......….......…...................................................................... 36
14-ma’ruza. Oje-elektronlarning spektroskopiyasi. Qattiq jismning
elektron tuzilishi. Elektron sathlarining belgilanishi ............................. 38