“Yupqa qatlamlar fizikasi va texnologiyaSI”

Adabiyotlar

1. 
   [5] 46-50 betlar
   
2. 
   [6] 259-268 betlar
   

24-ma’ruza


Reja

1. 
   Kremniy epitaksial qatlamlarida kristallografik nuqsonlar.
   
2. 
   Gomogen sistema va geteroepitaksial plyonkalar.
   
3. 
   Kobolüt kremniy - (CoSi₂)ni kremniy yuzasida epitaksial o’stirish.
   
4. 
   MNE usuli bilan olingan CoSi₂/Si tizimi uchun solishtirma qarshilikning plyonka qalinligiga va haroratga bog’liqliklari.
   

KREMNIÉ EPITAKSIAL QALAMLARIDA KRISTALLOGRAFIK NUQSONLAR.
Kremniyning epitaksial qatlamlarini har xil monokristallarning yuzasida hosil qilish mumkin. Kremniyning panjarasi kubik bo’lganligi uchun bo’lsa, asosning panjarasi ham kubik bo’lishi kerak. Bunday kubik panjaraga ega bo’lgan materiallar quyidagilar: Si, CaF₂, CoSi₂, GaAs va boshqalar.
Agar kremniy plyonkasi kremniy yuzasida hosil qilinsa, avtoepitaksiya deyiladi, ya’ni bunda gomogen sistema hosil bo’ladi.
Kremniyning epitaksial plyonkasi boshqa materialning (CaF₂, GaAs) yuzasida hosil qilinsa, geteroepitaksial plyonka deyiladi.
Kremniy plyonkasini yoki umuman har qanday epitaksial plyonkalarni olganda unda nuqsonlar hosil bo’lishida quyidagi faktorlar asosiy rolni o’ynaydi:

1. 
   juda yuqori vakuum bo’lishi kerak,
   
2. 
   asosning yuqori darajada silliqlanganligi va tozaligi,
   
3. 
   atomlar manbasining tozaligi.
   

Agar vakuum yuqori bo’lmasa, kamerada mavjud bo’lgan gaz atomlari kremniy bilan birga o’tirib (SiC, SiO₂, SiS), kremniynikidan farq qiladigan markazlar hosil qilishi mumkin. Xuddi shu kabi nuqsonlar kremniy manbasi toza bo’lmasa ham paydo bo’lishi mumkin.
Asosning yuqori darajada silliq va toza bo’lishidan tashqari unga yana quyidagi talablar qo’yiladi:
- kristall tuzilishining mosligi, panjara kattaliklarining yaqinligi;
- yuzada notekisliklarning yo’qligi, ya’ni yuzada kristall panjara buzilishi yo’q bo’lishi;
- temperaturaviy kengayish koeffitsientlari deyarli bir xil yoki juda yaqin bo’lishi kerak ...
Demak, yuqoridagi shartlarning bajarilishi nuqsonlarni imkoni boricha kamaytirishga yordam beradi. Umuman, epitaksial plyonkalarda quyidagi turdagi defektlar mavjud bo’lishi mumkin:
a) joylashishga bog’liq bo’lgan nuqsonlar (defektû upakovki),
b) ikkilanishlarning paydo bo’lishi (proyavlenie dvoynikov),
v) orolchalarning chegaralari qo’shilganda hosil bo’ladigan kichik burchaklarni paydo bo’lishi (malouglovûe granitsû),
g) nuqtaviy nuqsonlarning to’planishi,
d) dislokatsiyalar.