Yarimo'tkazgichli mikrosxemalarni ishlab chiqarish texnologiyasi

12. Doping. Qotishma - plastinka yoki epitaksial plyonkaga kirlarni kiritish. Yuqori haroratda (taxminan 1000 ° C) nopoklik atomlari sirt orqali kirib, issiqlik harakati tufayli ichkariga tarqaladi. Yarimo'tkazgichli doping uch xil bo'ladi:
1. Diffuzion doping - taniqli diffuziya hodisasidan foydalanishga asoslangan, ya'ni. moddalar zarrachalarining ularning kontsentratsiyasini kamaytirish yo'nalishi bo'yicha yo'naltirilgan harakati. Harakatlantiruvchi kuch bu moddaning atomlari yoki molekulalarining kontsentratsion gradienti. Diffuziya paytida kerakli plastinkada qotishma orqali uning xususiyatlarini o'zgartirib, tuzatuvchi yoki kontsentratsion kontaktlar asl plastinkada olinadi. Diffuzion qatlamlarning qalinligi mikrometrning yuzdan bir qismigacha bo'ladi. Nopoklik kontsentratsiyasining chuqurlik bo'yicha notekis taqsimlanishi o'ziga xos xususiyatdir: kontsentratsiya sirt yaqinida maksimal bo'ladi va qatlamga chuqurroq tushadi. Nopokliklarning kontsentratsiyasi va taqsimlanishi asosan nopoklik, qo'shilgan material va ifloslanish manbasi bilan belgilanadi.
2. Ionik doping - Yarimo'tkazgichga kiritish uchun etarli energiyaga ega bo'lgan ionlangan iflos atomlar tomonidan amalga oshiriladi. Yarimo'tkazgich strukturasining radiatsion shikastlanishini bartaraf etish, donor va akseptor aralashmalarini elektr faollashtirish uchun tavlanish ham talab qilinadi. Asosiy xususiyat - har qanday plastinka maydonida ma'lum bir chuqurlikdagi ifloslik kontsentratsiyasini qayta ishlab chiqarish qobiliyati. Buning sababi shundaki, ion nurlarining oqimini juda aniqlik bilan o'rnatish mumkin. Nopokliklarning tarqalishini nurlanish dozasini, energiyasini va ionlarning tushish burchagini o'zgartirib, keng diapazonda osongina boshqarish mumkin. Nopoklik ionlari maxsus manbalarda olinadi, tezlashadi va elektr maydoniga yo'naltiriladi. Ion nurlari substratni bombardimon qiladi. Nopoklik ionlari kristall panjara ichida joylashgan. Ion qo'shilgan qatlamlarning xarakteristikalari diffuziyaga qaraganda ko'proq takrorlanadi.