Ван дер Пау методи билан ўлчашда контактларнинг жойлашуви A, B, c va d kontaktlar hosil qilinadi

Ҳозирги пайтда бир жинсли бўлмаган структуралар профилни ҳисоблаш вақтини сезиларли камайтириш учун турли уринишлар бўлмоқда. Масалан, адабиётларда CF1 коррекцияловчи (тўғриловчи) факторни қуйидаги кўринишда тасвирлашга муваффақ бўлган:

Ҳозирги пайтда бир жинсли бўлмаган структуралар профилни ҳисоблаш вақтини сезиларли камайтириш учун турли уринишлар бўлмоқда. Масалан, адабиётларда CF1 коррекцияловчи (тўғриловчи) факторни қуйидаги кўринишда тасвирлашга муваффақ бўлган:

бу ерда

(***)
(****)
ва
функциялар
i – қатлам учун
(*****)

коррекцияловчи фактор ҳисобланади. Адабиётларда қалинлиги 1÷2 мкм бўлган эпитаксиал структурада 30 та қатлам бўлганда аралашмалар тақсимотини 23 с вақт давомида ҳисобловчи оддий дастурлар келтирилган

Шундай қилиб энг пастки қатламдан бошлаб

ва
функциялар
кейин эса
(****)
ҳисобга олиб
(***)

Қурилмалар

ИППМ-1 ЦУИП ЦПМ – 1