Учебно-методический комплекс по предмету наноэпитаксиальные слои и гетеросистемы Ташкент-2022 год. Данный учебный материал предназначен для магистров специальности «Нанотехнология полупроводниковых материалов»

Литература:

1. 
   Темников Ф. Е. Автоматические регистрирующие приборы, 3 изд. — М., 1968
   
2. 
   Орнатский П. П. Автоматические измерения и приборы — Киев: Вища школа, 1980
   
3. 
   Темников Ф. Е., Афонин В. А., Дмитриев В. И. Теоретические основы информационной техники — М., 1971
   
4. 
   Писаревский Э. А. Электрические измерения и приборы — 1970
   
5. 
   Лихачев В. А. Библиотека по автоматике, вып. 23. Многоканальное быстродействующее регистрирующее устройство РУМБ-2.
   
6. 
   Ю П., Кардона М. Основы физики полупроводников / Пер. с англ. И. И. Решиной. Под ред. Б. П. Захарчени. — 3-е изд. — М.: ФИЗМАТЛИТ, 2002. — 560 с.
   
7. 
   Б. А. Джойс, Р. Хекингботтом, У. Менх, и др. Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры. — Под ред. Л. Ченга, К. Плога. Пер. с англ. под ред. Ж. И. Алферова, Ю. В. Шмарцева. — Москва: Мир, 1989.
   
8. 
   Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007
   
9. 
   Нашельский А. Я., Технология полупроводниковых материалов, М., 1987
   
10. 
    Технология СБИС / Под ред. С. Зи, пер. с англ., кн. 1-2, M., 1986
    
11. 
    Бахрушин В. Е. Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций. — Запорожье, 2001
    
12. 
    Бахрушин В. Е. Получение и свойства слаболегированных слоев кремниевых структур. — Запорожье, 1997.