Studwood ru рефераты, курсовые, дипломные

Схема процесса термического напыления:



Рабочая камера вакуумной установки представляет собой цилиндрический металлический или стеклянный колпак (1), который устанавливается на опорной плите (7). Между колпаком и плитой находится резиновая прокладка, обеспечивающая вакуум плотное соединение. Внутри рабочей камеры расположены: подложка (4), которая закрепляется на держателе (3), нагреватель подложки (2) испаритель (6) для нагрева напыляемых веществ. Между испарителем и подложкой устанавливается заслонка (5), позволяющая в нужный момент прекращать попадание испаряемого вещества на подложку. Рабочая камера откачивается вакуумным насосом. Остаточное давление под колпаком измеряется специальным прибором - вакуумметром. Давление измеряется в мм. рт. ст.
Процесс термического напыления в вакууме разбивается на три этапа

1. 
   Испарение вещества.
   

2 Распространение паров испаряемого вещества.
3. Конденсация паров испаряемого вещества на подложке и образование пленочной структуры.


2.1.1 Технические особенности работы ВУП-5
При включении питания на ВУП-5 включается вентилятор охлаждающий систему.
Включением кнопки откачки, начинается работа форвакуумного насоса, который создает предварительный вакуум порядка Па.
После предварительной откачки включается диффузионный насос. Предельный вакуум, создаваемый ВУП-5 с данными типами насосов, составляют порядка Па[4].


2.2 Общие сведения и устройство Спектрофотометра PHOTON RT-190-4900

Блок схема спектрофотометра:

Спектрофотометр - прибор, предназначенный для измерения спектров пропускания или спектров отражения излучения. Спектрофотометр является основным прибором, используемым в спектрофотомерии[15].


Глава 3. Изучение и расчёт основных технологических параметров металлических покрытий при резистивном испарении, и расчёт их спектральных характеристик

Данные полученные и рассчитанные в ходе эксперимента: