|
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ
Учреждение образования
«Гомельский государственный университет
имени Франциска Скорины»
Физический факультет
Кафедра оптики
Курсовая работа
Способ резистивного испарения материалов электронной техники
Исполнитель:
студент группы Ф – 33пр В.А. Смык
Руководитель проекта:
Доцент кафедры оптики Н.Н. Федосенко
Кандидат технических наук
Гомель 2016
Содержание
Введение
Глава 1. Технологические особенности формирования металлических покрытий резистивным способом
1.1 Общие сведения о формировании покрытий резистивным способом
1.2 Электрофизические свойства тонких плёнок
1.3 Оптические свойства тонких плёнок (значения n,k)
Глава 2. Методика формирования металлических покрытий на устройстве ВУП-5 и исследование спектрофотометрических характеристик
2.1 Общие сведения и устройство ВУП-5
2.1.1 Технические особенности работы ВУП-5
2.2 Общие сведения и устройство Спектрофотометра PHOTON RT
Глава 3. Изучение и расчёт основных технологических параметров металлических покрытий при резистивном испарении, и расчёт их спектральных характеристик
Заключение
Список используемой литературы
Введение
Впервые металлические покрытия были получены Фарадеем в 1857 г. при проведении экспериментов по пропусканию больших электрических токов через металлическую проволоку. В 1887 г. Нарволд на примере проволок из платины продемонстрировал возможность осаждения тонких металлических плёнок в вакууме с использованием джоулева тепла. До 50-х годов XX века вакуумная металлизация имела весьма ограниченное применение и использовалась, в основном, для декоративной обработки, при изготовлении зеркал, фильтров, элементов научных приборов. Бурное развитие эта технология получила в связи с ее эффективным применением при решении проблем микроэлектроники. Одновременно начала развиваться технологические методы и оборудование для нанесения вакуумных покрытий на машиностроительные материалы с целью повышения их эксплуатационных свойств. В 1959 г. была введена в эксплуатацию первая вакуумная линия, позволяющая наносить антикоррозионные покрытия (алюминия, кадмия, титана) на стальную фольгу. В настоящее время благодаря развитию, в основном, вакуумной техники методы осаждения покрытий в вакууме получили широкое распространение и в ряде случаев являются единственными эффективными технологическими приемами повышения долговечности и износостойкости машиностроительных изделий. Они по сравнению с другими методами нанесения функциональных слоев (например, гальваническими, химическими, газо-термическими) характеризуются следующими преимуществами:
1. Высокая производительность процесса нанесения покрытия. Разработаны установки, в которых осаждение покрытия осуществляется со скоростью до 20 кг/мин. Скорость перемещения ленты в зоне металлизации может достигать более 10 м/с. Имеются камеры непрерывного действия, которые позволяют осаждать покрытия на листы шириной более двух метров, перемещающиеся со скоростью до 10 м/с. Это стало возможным в ряде случаев благодаря автоматизации процесса, использованию ЭВМ.
2. Возможность получения покрытий в чистых условиях и, как следствие этого, достижение их высокого качества. Покрытия наносятся в вакууме при давлении Р= Па и ниже, что позволяет практически полностью исключить загрязнения материала покрытия. Проведение предварительной обработки поверхности, например, тлеющим разрядом, обеспечивает удаление с поверхности адсорбированных слоев технологических газов.
3. Возможность нанесения многослойных и комбинированных покрытий в едином технологическом цикле. Например, с целью повышения износостойкости на рабочие поверхности режущего инструмента за один цикл откачки воздуха в вакуумной камере наносят многослойное покрытие на основе Ti, TiN, TiCN, TiC.
4. Высокая воспроизводимость структуры и свойств формируемых слоев. Полное исключение водородной хрупкости, которая характерна, например, для гальванических покрытий.
5. Вакуумные технологии нанесения покрытий являются экологически чистыми. При их реализации, как правило, не используются химически активные вещества, вредное экологическое воздействие на окружающую среду практически отсутствует[5].
Do'stlaringiz bilan baham: |
